製品機能の紹介
Gatan社の精密エッチングコーティング装置（PECS™) IIはデスクトップ型ワイドビームアルゴンイオン研磨及びめっき装置である。同一試料については、同一の真空環境下で研磨及びめっきを行うことができる。

製品の主な技術特徴：
精密エッチングコーティング装置（PECS™) II，2つのワイドビームアルゴンイオンビームを用いてサンプル表面を研磨し、損失層を除去することにより、SEM、光学ミラーまたは走査電子プローブ上でイメージング、EDS、EBSD、CL、EBICまたはその他の分析を行うための高品質なサンプルを得ることができ、また、これら2本のイオン銃をターゲットに向けてスパッタリングすることにより、サンプルを導電性金属膜堆積処理して、サンプルが電子ミラー中で荷電効果を発生するのを防止することができる。
この機器は真空を破壊せず、サンプルの新鮮な表面を大気に曝さずに研磨サンプルを処理できるように設計されている。サンプルの着脱は、真空交換チャンバ内で専用に設計された装填工具によって行われた。
より大きな電圧範囲を持つ2本の小型のパニンイオン銃は、迅速で柔らかい研磨効果を提供することができます。100 eVまで低いイオンビームは、試料の研磨に使用するより柔軟な研削効果を提供する。低エネルギー集束電極は、イオンビームの直径が加速電圧のほぼ全域で一致するようにする。各イオン銃は正確に独立して対中することができる。計器の運転中、イオン銃の角度を調整することができる。イオン銃の空気流は、イオン銃の動作電流を最適化するためにタッチスクリーン上で手動または自動で調整することができる。
PECS II試料台は液体窒素冷凍方式を採用した。サンプルを効果的に保護し、イオンビーム熱損傷を回避し、可能な仮定を除去することができる。
統合された10インチカラータッチスクリーンコンピュータは、PECS IIシステムのすべての動作パラメータを完全に制御することができます。このインタフェースはすべてのパラメータを設定し、研磨プロセスを監視することができます。すべての操作パラメータは標準として保存することもでき、標準を呼び出すことで高精度な反復実験を得ることができます。
ターボ分子ポンプと2段ダイヤフラムポンプを組み合わせて超清浄環境を保証した。Gatanのサンプル脱着工具により迅速なサンプル交換（＜1 min）を実現することができ、これにより、サンプル交換中に加工室が常に高真空状態にあることを保証することができる。

画像説明：（A）PECSII研磨したサンプル表面の二次電子像は、高度に双晶の結晶粒（B）PECSII研磨後のジルコニウム合金の菊池模様（C）EBSDオラ角分布図（D）IPFZ面を示して戦った。写真はオックスフォード大学材料学部のAngusWilkin-son教授とHamidreza Abdolvand博士が提供した。データはBrukerQuantax EBSDシステムを搭載したZeiss Merlin Compact走査電子顕微鏡上で収集した。