ブランド：Coxem

型番：SPT-20

この製品は自動真空制御され、条件の設定が簡単で、迅速な真空引き（＜2 min）を実現でき、サンプルに対してめっき処理を行い、めっきが完了したら自動的に真空を取り外すことができる。同時に、サンプルの高さの調節も非常に便利です。

技術指標：

1、電源：AC 220 V、500 W

2、重量：10 kg

3、サイズ：420（W）x 220（D）x 230（H）mm

4、机械泵：50L/min（60Hz）、AC 220V、150W、14.5kg

5、ターゲットの寸法：直径50.8 mm

6、真空度：約0.1 torr

7、zui大低電圧：~ 3 kv

イオン流制御範囲：1 ~ 9 mA

特徴：

1全自動デジタルイオンスパッタリングコーティング機

2ワンタッチで離型スパッタリングめっきを行うことができ、めっきが完了すると自動的に真空をアンインストールすることができる

3コーティング電流フィードバック機能を有する安定コーティング

4 Au、Pt、Pd、Pt-Pdの各種金属ターゲットに使用可能

5低騒音回転ポンプ採用