低温プラズマ・クラシックバケツ型。

PR500：手動制御PR 510：自動タッチスクリーン制御
ないぶみぞ
シリコンウェハアッシング状態
低温プラズマの定番モデルは非常に歴史的だ。自動調整機能とタッチパネル操作（PR 510）を採用し、操作性と安全性を向上させた、小型でコンパクトなプラズマ処理装置である。

●レジスト除去
●部品洗浄
●界面活性処理
●微粉砕
●シリコンウエハ、ガラス基板対応

用途
●大口径（Φ215 mm）石英反応チャンバ
●小型一体化設計

仕様：