酸素濃度20 ppm、最高動作温度600℃の雰囲気炉は、無酸素環境下の高温熱処理に適している。
特徴:
●最高動作温度360℃と600℃、酸素濃度20 ppm未満、主に電子部品のアニーリング、LTCC除去、ガラス基板のアニーリング、セラミックス脱脂などに応用される。
・酸素濃度到達時間が短く、N 2消費量が低い高気密性の圧力タンク構造。
・磁気シールにより高い気密性を維持し、水冷機構を用いてシール部材を熱の影響から保護する。
●急速な昇温と降温を実現でき、昇降温度速度は調節できる。
●廃液回収装置を標準装備し、ガスを冷却回収する。
●液晶タッチパネル操作、自動/手動の2つの運転モード。
セキュリティ
●ドア検出スイッチ、温度過昇防止器、酸素濃度異常、窒素ガス圧力検出、窒素ガス流量検出、冷却水流量検出、水漏れセンサ、過電流漏電保護スイッチなどの取り付け装置を有する。
仕様:
モデル |
DNN430C |
DNN630C |
DNN460C |
DNN660C |
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モード |
窒素置換+強制送風サイクル |
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パフォーマンス |
使用温度範囲 |
室温+50~360℃ |
室温+50~600℃ |
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温度調節精度 |
±0.5℃(at360℃) |
±1.0℃(at600℃) |
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温度分布精度 |
±5.0℃(at360℃) |
±8.0℃(at600℃) |
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最高温度到達時間 |
約80分 |
約110分 |
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酸素濃度 |
20 ppm以下 |
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酸素濃度到達時間 |
≦20分(250 L/min窒素) |
≦25分(250 L/min窒素) |
≦20分(250 L/min窒素) |
≦25分(250 L/min窒素) |
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構成 |
内装 |
ステンレス板 |
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外装 |
冷間圧延鋼板、表面耐薬品性塗装 |
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だんねつざい |
けい酸アルミニウム綿 |
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かねつほうしき |
ステンレスヒートパイプ |
ごうきんヒータワイヤ
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かねつでんりょく |
メインヒータ |
6.75KW |
9KW |
9.5KW |
14.2KW |
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N 2予熱 |
1KW |
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れいきゃくきこう |
ステンレス冷却水熱交換器 |
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コントローラコントローラ |
温度制御方式 |
PID制御 |
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おんどせいぎょき |
LCDタッチパネル+PLC |
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実行機能 |
手動定値運転、自動プログラム運転 |
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プログラムモード |
プログラムは9つ実行され、各プログラムは9ステップ設定可能(拡張可能) |
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追加機能 |
オペレータレベル認証 |
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ヒータ回路制御 |
SSR駆動 |
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センサ |
K型熱電対(温度制御及び過昇防止器) |
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あんぜんそうち |
ドア検出スイッチ、過昇防止器、酸素濃度異常、N 2予熱温度過昇、水圧低検出、N 2圧力低検出、冷却水流量検出、N 2流量検出、ファン過負荷検出、過電流漏電保護スイッチなど |
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仕様 |
内寸法(幅×深さ×高さmm) |
450×450×450 |
660×500×660 |
450×450×450 |
660×500×660 |
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外形寸法(幅×深さ×高さmm) |
1090×950×1540 |
1300×1000×1750 |
1240×1010×1750 |
1450×1060×1960 |
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コンテンツ積 |
91L |
216L |
91L |
216L |
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棚板の層数/層間隔 |
12階/30 mm |
19階/30 mm |
12階/30 mm |
19階/30 mm |
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はいきぐち |
40 KFフランジ |
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窒素ガス入口 |
Rc1/2 |
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冷却水入口 |
Rc3/4 |
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おんすい出口 |
Rc3/4,2個 |
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電源(50/60 Hz)定格電流 |
3相AC 380 V 16 A |
3相AC 380 V 19 A |
3相AC 380 V 20 A |
3相AC 380 V 27 A |
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じゅうりょう |
約800 kg |
約1000 kg |
約800 kg |
約1000 kg |
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選り取り品 |
棚板、真空ポンプ、温度記録計、コンビネーション警告灯(待機/運転/故障)、イーサネット通信機能 |