Øフレーク、粉末、破片、透明、非透明サンプルを含むほとんどのサンプルに適用し、サンプルに炭素噴霧や金噴霧処理を行う必要はありません。
Ø鉱物または試料に対して異なる大きさの光孔による微小領域分析（最小50 ~ 100μm）を行うことができ、ビームスポットの大きさの調節により、鉱物未知成分の平均値を得ることもできる。
Ø電子ビーム励起X線蛍光強度は高く、強度はX線励起源の励起強度より約4-5桁大きく、分析感度が高く、試験時間が短い。
Ø電子ビーム入射試料は深さが浅く（1〜2μm程度）、本格的な表面分析である。
Ø励起された特徴X線が検出された以外にノイズ信号が検出されておらず、解析結果がより正確である
Ø検出器が検出できる要素の範囲は11（Na）～92（U）です。特にNa、Mg、Al、Si、P、S、Cl、K、Ca、Ti、V、Cr、Mn、Fe、Co、Ni、Cu、Znなどの主量元素の分析結果は感度が高く、スペクトル線繰り返し性が良い。
Ø全分析、内蔵診断機能、全自動操作、ワンタッチ分析ソフトウェア、操作が簡便である。