深圳沃飛科技有限公司は高純度プロセスガスシステム電子特気プロセス排ガス処理装置local scrubberを専門に研究開発設計製造している

WFS-100 F吸着式local scrubber排ガス処理装置の処理可能ガスの種類は、半導体、液晶、太陽光などの業界でエッチングプロセスと化学蒸着プロセスで使用される特別ガスを含み、主にSiH4、SiH2Cl2、PH3、B2H6、TEOS、H2、CO、NF3、SF6、C2F6、WF6、NH3、N2Oなどがあります。