VAC−WシリーズHMDSyuchuli真空オーブンは、接着剤を塗布する前にウェハを前処理するために使用される。設備は空洞、真空、加熱、窒素充填、液添加及び制御などのシステムから構成される。複数回の予真空引き、150ºCの熱窒素加熱により、シリコンシート表面を乾燥させ、清浄化する効果を達成することができ、またシリコンシートの酸化と不純物の拡散を効果的に防止することができ、しかも液添加システムによりシリコンシート表面にHDMS保護膜を開くことができ、それによりシリコンシートに良好な塗布性能を持たせることができる。手作業でHMDSを塗布するのに比べて、再現性が良く、薬液を節約し、環境に優しく、人体に無害である顕著な利点がある、ウェハの他のプロセスの洗浄にも使用できます。制御はPLCを採用し、ヒューマンインタフェースはタッチスクリーンを採用し、信頼性が高く、操作が便利で、直感的であるなどの特徴がある。
標準機能：

u LCCは一時的に500°F（260°C）のLCD温度に達した。最大662°F（350°C）

u真空度が1 Torr（133 Pa）に達することができる

ステンレス鋼の内部と外部、すべての内部継ぎ目を絶縁側に連続溶接し、チャンバを汚染から保護する

u制は大型LCDディスプレイを持ち、データ記録機能とUSBポートを統合し、簡単なオーブン設置とデータ導出を実現できる

リモート監視と記録のためのModbus通信接続

uサイクル終了と高制限音響光学警報

uプログラマブルドアロック

uオープンコントロールパネル

オプション：

ウデータ収集ソフトウェア

uオイルフリー真空ポンプ

u自動HMD添加装置

CE基準に適合する