モデル

TSH8720M

入力スポット径（mm）

16

20

最大スキャン角度

±20°

許容最大レーザパワー（W）

Nd:YAG@1064 nm

200

300

CO2

150

200

小信号ステップ応答時間（1）（ms）

0.7

めもりそくど(2)（m/s）

2

2

位置決め速度(2)（m/s）

7

7

マーク速度(3)（cps）

よい品質

350

300

高品質

220

200

ゼロ点ドリフト（μRad./℃）

<20

比例ドリフト（ppm/℃）

<75

長時間連続動作ドリフト、8時間以上（mrad.）

<0.8

せんけいど（4）

≥99.90%

繰り返し精度（μRad.）

<8

最大平均動作電流（A/単軸）

4

ピーク電流（A）

25

入力位置信号範囲

DC±5V, ±10 V（アナログ電圧信号）

入力電源

±24 VDC，Max.3.5 A/軸

動作環境温度

25℃±10℃

重量（kg）

1.7

主な応用分野

レーザリソグラフィ
レーザ溶接
せつだん
穴をあける
科学研究

-すべての角度が機械角です。

-すべてのパラメータは電源投入1分後に測定されます。

（1）この型番のモータに搭載できる最小Y軸レンズを配置し、満幅の1%まで応答する。

（2）焦点距離F=160 mmレンズを用いて測定する、

（3）レンズF＝160 mm、アルファベットと数字からなる1 mmの高さの単線文字を標刻する。

（4）±20°の光学角範囲内の線形度を指す、