テスケンMIRA汎用解析型高分解能電界放出走査電子顕微鏡
テスケンMIRA汎用解析型高分解能電界放出走査電子顕微鏡、高輝度ショットキー電界放出電子銃が配置され、TESCANのEssence™ 操作ソフトウェアの同じウィンドウでSEMイメージングとリアルタイム要素解析を実現した。この結合により、サンプルから形態および元素データを取得するプロセスが大幅に簡略化され、MIRAが品質管理、故障分析、実験室の通常の材料検査の有効な分析ソリューションになる。
特徴を際立たせる
完全統合TESCAN Essence™ EDS分析プラットフォーム、Essence™ ソフトウェアの同じウィンドウでSEMイメージングとリアルタイム要素分析を実現する、
TESCAN独自の無絞り光路設計及びリアルタイム電子ビーム追跡技術(In-flight Beam Tracing™),迅速に取得できるイメージングと分析条件、
独自の大視野光路(Wide Field Optics)™)設計により、最小増幅倍率を2倍に低下させることができるため、追加の光学ナビゲーションカメラを必要とせず、簡単にサンプルをナビゲーションすることができる、
標準的なSingleVac™ モード、非導電性試料または電子ビーム感受性試料は溶射する必要がなく、このモードで直接観察することができる、
直感的なモジュラー型Essence™ ソフトウェアは、ユーザーの経験レベルにかかわらず、簡単に操作できます。
Essence™ 3 D衝突防止モデルは、試料台と試料移動時に試料室内検出器に取り付ける安全性を確保することができる、
オプションの鏡筒内SEとBSE検出器、および電子ビーム減速技術は、低電圧下のイメージング性能をより向上させ、
陰極蛍光検出器、水冷後方散乱電子検出器など、最も多くの種類の検出器とアクセサリを選択的に統合するための標準的な分析プラットフォーム。