精密XYプラットフォームAX型

精密研磨の断面高さが低いLMガイドと精密ボールねじを採用しているため、高精度な位置決めを可能にする精密XYテーブルです。専用の中間サドルを使用していない組み合わせなので、ストロークは一軸テーブルの組み合わせで自由に選択できます。

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位置合わせプラットフォームCMX型

ベース、上位テーブル間の四隅には、交差型LMレール、交差ころ軸受、および精密ボールねじを組み合わせたモジュールが取り付けられている。このような独自構造を採用したことで、超薄型構造の精密な位置合わせプラットフォームを実現した。

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精密XYプラットフォームDX型

ガイド部はクロスLMガイドCSR型を使用し、駆動ボールネジはCSR型の外側に配置され、中空無中間サドルのXYテーブルである。中空上位テーブルと中空ベースとの間の高剛性フレームの四辺にクロスLMガイドCSR型が配置されているため、シンプルで高剛性、高さの低い構造となっている。

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精密XYプラットフォームEX型

クロスLMレールCSR型を採用しているため、中間サドルを使用していないシンプルなXYテーブルです。2軸のモータを固定する特殊構造を採用することにより、動作部の重量を極限まで低減した軽量化により、XY各軸の慣性力を制御できるため、高速応答性に優れている。