小型膜厚モニタ
一、技術特徴:
1、専用ソフトウェアを提供し、コンピュータの操作と表示を通じて完全な堆積データを取得し、表示された関連データを保存することができる、
2、パソコンを利用したUSBインターフェース通信と電力供給、設置が便利である、
3、体積が小さく、電気制御盤のスペースを占有しない、
二、応用範囲:
コンピュータ(工業制御機)の操作制御に適した抵抗熱蒸発、電子ビーム蒸発、マグネトロンスパッタリングなどの設備の薄膜測定。
三、主なパラメータ:
CY−FTM 106−Y膜厚モニタ
けっしょうしんどうすう
6MHz
操作、表示方式
コンピュータによる操作、表示
厚み表示範囲
0-99μ9999Å
厚み表示解像度
1Å
レート表示範囲
0-9999.9Å
レート表示解像度
0.1Å/s
めっき層数
99レベル
プローブ入力
2ウェイ(いずれかの作業を選択)
ツールファクタ
0.01-99.99
ざいりょうきおく
257種類
通信、電力供給
USBインタフェース
バッフル制御
コンピュータプログラミング実装
シャーシサイズ
100×65×45mm