主な技術指標
1、箱体
1.1.サイズ：1200 mm（縦）×900 mm（高さ）×1000 mm（幅）
1.2.材質：オールステンレス構造｛Type 304｝、厚さ3 mm
1.3.フィルタ：孔径3ミクロン
1.4.手袋：手袋口8インチ、厚さ0.4 mmブチル［butyl］手袋、ジュラルミン合金手袋口（腐食防止処理を経て、陽極酸化アルミニウム）、口径220 mm。
1.5.窓：傾斜設計の操作面、取り外し可能な8 mm安全強化ガラス前窓、耐摩耗、耐腐食性、光透過性が良く、シールリングは3/8インチ厚のOMEGAシールリングを採用する
1.6.使用時に一定の正負圧力（-10 mbar～10 mbar）を保持できる
1.7.箱体には反射防止の照明省エネランプが配置され、光が柔らかい。
1.8.箱体内に陳列板を設置する二重層
1.9.箱体内に多孔質電源配線板（電源：220 V±10%50 Hz±10%）を設置する
2、トランジションキャビン
2.1.形状：円筒形（304ステンレス）、グローブボックスと接続し、バルブ制御を採用する
2.2.寸法：直径360 mm、長さ600 mmの大きなトランジションキャビン、ピストンバルブ、トランジションキャビン内にスライド可能なトレイ、研磨、自動バルブ制御抽気と補気がある。箱体にはもう一つの小さな移行室を設置し、規格は：直径150 mm、長さ300 mm、手動バルブは抽気と補気を制御する。
2.3.パレット：ステンレス300 mm×450 mm、移動自在に延長可能（大オーバーセル配置）
2.4.真空度≦1 bar（大、小右過室ともに真空引き帯表示が要求される）
3、制御システム
3.1.方式：自己診断、停電自己起動特性を含み、圧力制御と適応機能を備える。自動制御、循環制御、暗号保護、真空チャンバ制御はLCD表示を採用している。ユニット制御にはシーメンスPLCタッチスクリーンを用いた。
3.2.圧力制御：制御箱体、過渡室の圧力はある設定値にある。
3.3.踏み板：グローブボックスの圧力を制御でき、操作しやすい。