製品の特徴

PRODUCT FEATURES

クリーンオーブンは、半導体ウエハ、液晶、光学モジュール、カメラモジュール、および焼成に対する要求が高い他の部品、および装置の熱処理/乾燥または老化に広く使用されており、クリーンルーム環境に設置するのにも適している。100級の清浄度は主に初期効率フィルタ、HEPA高効率フィルタ、前後層流循環システムを使用することにより実現され、加熱または冷却中に安定した性能を提供する。急速な昇温と回復時間は優れた温度制御と均一性を確保する。独特の機械対流気流システムを持つ。ファンは底部のオーブンで発生した熱を取り除き、上部ユニットが破損しないようにします。

クリーンオーブンはPT 100白金センサを用いて実際のチャンバ温度を測定し、0.3µmHEPA高効率フィルタを用いて、空気を有効循環ろ過した。オーブンには流量計とNPT部品も備えており、窒素などの不活性ガスをチャンバ内に導入して特殊なプロセスベーキングを行い、200 PPMの酸素含有レベルまで低く保つことができる。

クリーンオーブンの外の材質はSPCC鋼板がソーダ水洗浄後の粉体塗装処理を経て、内部は腐食に強いステンレス鋼。調整可能な4つの穴あきステンレスブラケットを搭載し、ブラケットと本体は取り外しやすく、洗浄しやすい。

安全機能には、独立した超温保護、相順保護、停電保護などの多重保護機構が含まれ、使用の安全を確保する。安全ドアが設置されており、指定された温度までベーキングしてからドアを開けることができ、操作者の操作の安全を確保することができる。

1、SUS 304 1.5 mmステンレス板、全満溶接技術；

2、箱内風路内に清潔な空気入口が設置され、高効率フィルタが設置されている。換気モードと非換気モードを使用することができ、汚染物が内箱に入らないことを保証するために、箱内に微正圧を保証することができる、

3、高効率フィルターHEPAフィルターはクリーンルームを構築し、箱体内ガスを一方向ろ過と循環ろ過することができる。使用要求に応じて、クリーンレベルISO Class 5（国標100級）、ISO Class 6（国標1000級）、ISO Class 7（国標10000級）などの各種レベルの需要を満たすことができる、

4、自動窒素充填装置を配置し、自動開閉ダンパと窒素充填ベーキングを行う、

5、新しいタッチスクリーン操作システムを開発し、高精度PIDマスタを持ち、温度制御精度は±0.1℃、自動恒温。レシピの保存、温度曲線の表示、昇温データのエクスポートなどができます。

6、使用要求に応じて、カスタマイズを受けることができる。

製品パラメータ

PRODUCT PARAMETERS

カスタムサービス

CUSTOM SERVICE

深セン怡和興は異なる程度の均一性、サイズ、温度範囲を提供することができます。特定の要件や仕様がある場合は、お客様のニーズに合わせてお問い合わせください。これにより、デバイスの設計、テスト、調整がお客様の要件を満たすことができるようになります。