SEM-Nシリーズポリイミド硬化オーブンは、ポリイミド硬化焼成と硬化応用のために設計されたクリーンプロセスオーブンである。

多くの半導体製造環境の先端機器はポリイミド硬化に適している。

このような高価なプロセスは、清浄度、不活性雰囲気能力、サイクル時間、またはデータ収集の点で、ポリイミド硬化に一般的に適さない装置をもたらす。

SEM-Nシリーズオーブンは半導体のポリイミド硬化プロセスを最適化した

ウエハ素子サイクルタイムを短縮し、製品負荷のすべてのウェハに一貫性を提供し、硬化プロセスを繰り返すことができます。SEM-Nシリーズオーブンのために圧力放出システムを設計しました。このシステムには取り外し可能な「コールドトラップ」と、炉内の排気ガス中にポリアミドが蓄積するのを防ぐのに役立つ洗浄しやすい凝縮水コレクターが含まれています。

標準機能：

u再循環空気を100%99.99%HEPAフィルタで濾過し、ISO 5級（100級）又は高い操作に用いる

統合されたPCインタフェース、リアルタイムグラフィックス表示機能を持つ

u酸素監視システム

u 16キロワットヒータ容量

自動水制御、ステンレス水冷盤管付き

u温度は最高（450°C）

u高速循環時間、最高毎分5°C

u温度均一性±1%

u各層最大23 kg