モデル

S-9320M

入力スポット径（mm）

15

20

最大スキャン角度

±12.5°

許容最大レーザパワー（W）

Nd:YAG@1064 nm

200

300

CO₂

150

200

小信号ステップ応答時間^（1）（ms）

0.4

めもりそくど⁽²⁾（m/s）

3

3

位置決め速度⁽²⁾（m/s）

10

8

マーク速度⁽³⁾（cps）

よい品質

600

500

高品質

450

360

ゼロ点ドリフト（μRad./℃）

<15

比例ドリフト（ppm/℃）

<50

長時間連続動作ドリフト、8時間以上（mrad.）

<0.5

せんけいど^（4）

≥99.90%

繰り返し精度（μRad.）

<8

最大平均動作電流（A/単軸）

4

ピーク電流（A）

20

入力位置信号範囲

DC±5V, ±10V（analog signal）

入力電源

±24 VDC，Max. 3.5A/axis

動作環境温度

25℃±10℃

重量（kg）

1.5

主な応用分野

レーザリソグラフィ

レーザ溶接

せつだん

穴をあける

-すべての角度が機械角です。

-すべてのパラメータは電源投入1分後に測定されます。

（1）この型番のモータに搭載できる最小Y軸レンズを配置し、満幅の1%まで応答する。

（2）焦点距離F=160 mmレンズを用いて測定する、

（3）レンズF＝160 mm、アルファベットと数字からなる1 mmの高さの単線文字を標刻する。

（4）±20°の光学角範囲内の線形度を指す、