レーザリソグラフィ
せつだん
レーザ変調抵抗
フラッシュ成形
レーザイメージング
科学研究
モデル |
S-8316 |
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入力スポット径(mm) |
12, 14 |
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最大スキャン角度 |
±20° |
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小信号ステップ応答時間(1)(ms) |
0.3 |
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回転慣性量、g*cm2 ,±10% |
0.9 |
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モーメント定数dyne・cm/amp,±10% |
1.1*105 |
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最大平均動作電流(A/単軸) |
3.5 |
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ピーク電流(A) |
25 |
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ゼロ点ドリフト(μRad./℃) |
<15 |
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比例ドリフト(ppm/℃) |
<50 |
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せんけいど(2) |
≥99.90% |
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繰り返し精度(μRad.) |
<8 |
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長時間連続動作ドリフト、8時間以上(mrad.) |
<0.5 |
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動作環境温度 |
25℃±10℃ |
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重量(ケーブルを含まない)(g) |
160 |
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-すべての角度が機械角です。 |
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-すべてのパラメータは電源投入1分後に測定されます。 |
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(1)この型番のモータに搭載できる最小Y軸レンズを配置し、満幅の1%まで応答する。 |
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(2)±20°の光学角範囲内の線形度を指す、 |