モデル

S-8316A/D

入力スポット径（mm）

12

14

最大スキャン角度

±20°

ゆうこうそうさかくど

±12.5°

許容最大レーザパワー（W）

Nd:YAG@1064 nm

150

150

CO2

100

100

小信号ステップ応答時間（1）（ms）

0.3

めもりそくど(2)（m/s）

3

3

位置決め速度(2)（m/s）

12

12

マーク速度(3)（cps）

よい品質

650

600

高品質

450

400

ゼロ点ドリフト（μRad./℃）

<15

比例ドリフト（ppm/℃）

<50

長時間連続動作ドリフト、8時間以上（mrad.）

<0.5

せんけいど（4）

≥99.90%

繰り返し精度（μRad.）

<8

最大平均動作電流（A/単軸）

3.5

ピーク電流（A）

25

入力信号インタフェース

XY 2-100またはアナログ±5 V、±10V

入力電源

±24 VDC±10%、Max.RMS 3.5 A/軸

動作環境温度

25℃±10℃

重量（レンズを含まない）（kg）

3.9

主な応用分野

レーザリソグラフィ
せつだん
レーザ変調抵抗
科学研究

-すべての角度が機械角です。

-すべてのパラメータは電源投入1分後に測定されます。

（1）この型番のモータに搭載できる最小Y軸レンズを配置し、満幅の1%まで応答する。

（2）焦点距離F=160 mmレンズを用いて測定する、

（3）レンズF＝160 mm、アルファベットと数字からなる1 mmの高さの単線文字を標刻する。

（4）±20°の光学角範囲内の線形度を指す、