北京世紀サニー科学技術有限公司
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S-8316二次元光学走査ホルダ
S-8316 M振動子は2 Dスキャンモジュールとして販売された時に箱体を含まず、2軸振動子、2軸駆動板とXYスタンドから構成され、OEM顧客はこのモジュールを自分のシステムに統合することができる。
製品の詳細
高速高精度
大トルク
ていおんひょうはく
コンパクトな構造
ぼうじんぼうがい
インストールが容易
高効率放熱システム

レーザリソグラフィ
せつだん
レーザ変調抵抗
フラッシュ成形
レーザイメージング
科学研究

モデル

S-8316M

入力スポット径(mm)

12

14

最大スキャン角度

±20°

許容最大レーザパワー(W)

Nd:YAG@1064 nm

150

150

CO2

100

100

小信号ステップ応答時間(1)(ms)

0.3

めもりそくど(2)(m/s)

3

3

位置決め速度(2)(m/s)

12

12

マーク速度(3)(cps)

よい品質

650

600

高品質

450

400

ゼロ点ドリフト(μRad./℃)

<15

比例ドリフト(ppm/℃)

<50

長時間連続動作ドリフト、8時間以上(mrad.)

<0.5

せんけいど(4)

≥99.90%

繰り返し精度(μRad.)

<8

最大平均動作電流(A/単軸)

3.5

ピーク電流(A)

25

入力位置信号範囲

DC±5V, ±10 V(アナログ電圧信号)

入力電源

±24 VDC,Max.3.5 A/軸

動作環境温度

25℃±10℃

重量(kg)

1.5

主な応用分野

レーザリソグラフィ
せつだん
レーザ変調抵抗
科学研究

-すべての角度が機械角です。

-すべてのパラメータは電源投入1分後に測定されます。

(1)この型番のモータに搭載できる最小Y軸レンズを配置し、満幅の1%まで応答する。

(2)焦点距離F=160 mmレンズを用いて測定する、

(3)レンズF=160 mm、アルファベットと数字からなる1 mmの高さの単線文字を標刻する。

(4)±20°の光学角範囲内の線形度を指す、


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