特徴

•大幅に向上した駆動速度（X軸：80 mm/s, Z 2軸

柱:20 mm/s）総測定をさらに低減した場合

間。

•横線形仕様を長時間維持するため、三豊公

司は極めて硬いセラミックガイドを採用し、老化防止と

磨耗に耐える。

•ドライブ（X軸）とポスト（Z 2軸）の両方に高機能を搭載

精度線形エンコーダ（Z 2軸上はABSタイプ）。

したがって、オリフィスを垂直方向に連続的に自動測定し、

位置決めが困難な部品の繰り返し測定の繰り返し精度

向上

ひょうめんあらさそくてい

•直線度：±

( 0.05+0.001L ) μm*

高精度な測定が必要なワークに特化しています。

*S 4タイプ、H 4型、W 4型、Lは駆動長さ（mm）

•JIS'82/'94/'01準拠、ISO、ANSI、DIN、VDAなど

表面粗さの国際規格。

•標準配置：高精度測定ヘッド（0.75 mN/4 mN測定）、

分解能は0.0001μmと高かった。

プロファイル駆動測定

•X軸精度：±( 0.8+0.01L ) μm*

Z 1軸精度：±( 0.8+I0.5HI/25 ) μm*

高精度な測定が必要なワークに特化しています。

*SV-C 4100 S 4型、H 4型、W 4型、Lは駆動長、Hは測定高さ（mm）

•SV-C 4100シリーズのプロファイルドライバにレーザーを搭載

ホログラフィックマイクロメータヘッド、Z 1軸幅／狭範囲ともに可

極めて高い精度と解像度を達成します。