技術パラメータ

XYスキャナ：

• 閉ループ制御式シングルモジュールフレキシブルXYスキャナ。
• 走査範囲：50μm×50μm（オプションで100μm×100μm、10μm×10μm）

Zスキャナ：

• フレキシブルブートハイパワースキャナ
• スキャン範囲：12μm（オプション25μm）

サンプルテーブル：

• XY台作業範囲：13 × 13 mm
• Z台作業範囲：29.5 mm
• フォーカスステーションの動作範囲：70 mm

光学系：

• 試料とプローブを観察できる直視同軸光学系
• 10 X対物レンズ（オプション20 X）
• 視野：480 × 360 μm
• CCD：1 M画素（画素解像度：0.4 μm）

回路システム：

• 高性能DSP：600 MHz with 4800 MIPS
• 大画像サイズ：4096 x 4096ピクセル、16データ画像
• 信号入力：500 kHzサンプリング時、16ビットADCの20チャンネル
• 信号出力：500 kHzサンプリング時、16ビットADCの21チャンネル
• 同期信号：画像終了、ライン終了及び画素終了TTL信号
• アクティブQ制御（オプション）
• 片持ち梁の弾性定数較正（オプション）
• CE Compliant
• 電源：120 W
• 信号処理モジュール（オプション）

原子間力顕微鏡 原子間力顕微鏡