Park Systems原子間力顕微鏡XE-7

機器概要：

超高性価比のナノ領域研究利器。独特な三軸分離設計は、XYZの三方向に結合効果がないことを保証し、原理的に平面ねじれ誤差を除去した、同時に独立したZ軸スキャナで、真の非接触スキャンを実現し、サンプルの適用範囲を大幅に拡大した。トップダウンの直視光路は、ユーザーのプローブとサンプルの観察を便利にし、専用に設計されたプローブ取り付け方式は、光路調整過程を簡略化し、操作の難易度を下げた。

Park Systems原子間力顕微鏡XE-7技術パラメータ：

スキャナ

XYスキャナ

フレキシブルコンダクタンス閉ループ制御シングルモジュールスキャナ

走査範囲10μm*10μm（オプションで50μm*50μm、100μm*100μm）

平面オフセット：2 nm（40μm＊40μm走査）

Zスキャナ

フレキシブル誘導強力スキャナ

走査範囲12μm（オプション25μm）

共振周波数：>5 kHz

表面イメージングノイズ：0.03 nm

サンプルテーブル

サンプルサイズ：100 mm*100 mm*20 mm

サンプル重量：zui大500 g

サンプルテーブル移動範囲：13 mm*13 mm

主な特徴：

一、正確なXY方向スキャンにより、交差結合誤差を徹底的に除去

●独立した閉ループXYフラットスキャナーとZ軸スキャナーを使用

●平板式の走査スキャナーで、残留曲げ誤差が極めて小さい

・全走査範囲における水平線形誤差が2 nm未満

●正確な高さ測定

二、Non-Contact™（真の非接触）モードは針先の寿命を延長し、高分解能と保護サンプルを提供することができる

●Zサーボ速度は圧電セラミック管の10倍

●非接触モードは針先摩耗を低減し、使用寿命を延長することができる

●イメージング分解能が同種原子顕微鏡より優れている

●サンプル互換性を強化し、スキャン精度を向上

三、zuiの豊富な機能拡張

●多種のSPMモードに対応

●多種のオプション測定モードをサポートする

●各種オプション部品をサポートし、拡張性に優れている

四、zuiは便利な使用設計

●オープンサンプル空間、サンプル及び針先交換効率を高める

●プリアライメント針先取付と同軸直視光路によるレーザアライメントの直感的実現

●ダブテールロック走査ヘッドの取り外しに便利