Park Systems原子間力顕微鏡XE-15

機器概要：

Park XE−15は、包括的なサンプル互換性を有する。その多種のサンプル台の設計は、異なるサイズ、形状、数量のサンプルに便利で信頼性のある試験環境を提供した。結合解除された閉ループXYスキャナは、曲げ効果誤差を解消し、線形度を提供する。真の非接触走査モードは、適合試料の種類を拡大するとともに、プローブ寿命を大幅に延長し、使用コストを削減した。

Park Systems原子間力顕微鏡XE-15技術パラメータ：

スキャナ

XYスキャナ

フレキシブルコンダクタンス閉ループ制御シングルモジュールスキャナ

走査範囲100μm*100μm（オプションで50μm*50μm）

平面オフセット：2 nm（40μm＊40μm走査）

Zスキャナ

フレキシブル誘導強力スキャナ

走査範囲12μm（オプション25μm）

共振周波数：>5 kHz

表面イメージングノイズ：0.03 nm

サンプルテーブル

サンプル台の種類：16部位サンプル台/150 mm直径真空吸着台（200 mm直径真空吸着台を選択可能）

サンプルサイズ：150 mm*150 mm*20 mm

サンプル重量：zui大500 g

サンプルテーブル移動範囲：150 mm*150 mm（オプション200 mm*200 mm）

主な特徴：

一、革新的なマルチポイントサンプル台の設計、作業効率を提供する

●1回の操作でzuiは16個のサンプルをスキャンできることが多い

●サンプルの配置が簡単で、スキャンが速い

●データの正確性と重複性を大幅に向上

二、超大サンプルをサポートし、業界の発展ニーズを満たす

●zuiは200 mmウェハを大サポートし、ユーザーの現在と今後のニーズに対応

・半導体関連ユーザの実際のニーズを満たす専門設計

三、豊富な機能モードの選択

●各種SPM対応機能の充実

●多種のオプション測定モードをサポートする

●各種オプション部品をサポートし、拡張性に優れている