ろ過精度0.01μm推奨流量40～300 L/min

●高いろ過精度
ろ過膜は2層PTFEを採用し、長年使用しても変形せず、安定したろ過性能を備えている。全製品について粒子計数、0.01μmの微粒子捕捉実験を行った。

●低圧力損失
ろ過膜はPTFEを採用し、長年使用しても変形せず、安定したろ過性能を備えている。全製品は粒子計数、0.003μmの微粒子捕捉実験を行った。特にTF−4シリーズの膜は積層構造を採用し、有効濾過面積が大きく、圧力損失が小さい。

●高耐食性
フィルターフィルム、フィルター支持体、Oリングなどはすべてフッ素化樹脂を採用し、カバーはSUS 316 Lを採用し、ガス接触部分はすべて仕上げ、粗さはRmax 0.5μm以下に研磨し、静的処理を経た。

仕様：