製品の詳細
インラインシート式真空プラズマ洗浄機製品パラメータ:
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電源システム |
しゅつりょく |
F 13.56 MHz 0-600 W(無線周波数電源) |
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しんくうシステム |
真空管路 |
全ステンレス鋼管路、及び高強度真空ベローズ |
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マテリアル |
アルミニウム合金 |
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シール性 |
一体成形 |
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キャビティ容積 |
6L |
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適用製品サイズ |
180-280 mmX 25-90 mm(縦x幅) |
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適用カートリッジサイズ |
180-290 mmX 25*93 X 250 mm(縦X幅X高さ) |
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チャネル数 |
標準4条(カスタマイズ可能) |
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電極板の大きさ |
340x500mm |
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プラズマ励起時間 |
プラズマ励起洗浄時間 |
5Sec |
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生産高 |
UPH |
480(蛇皮時間10 S、4流路時) |
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せんじょうりょく |
しずくかく |
水滴角試験<12° |
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りゅうりょういき |
0-300SCCM |
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プロセスガス |
標準配置2ウェイ、カスタマイズ可能アルゴン:3 bars 1 L/min窒素:3 bars 1 L/min |
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その他のパラメータ |
電源装置 |
AC 380V 5.5KW |
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外形寸法 |
1600mmX1200x1600 |
インラインチップ式真空プラズマの製品特徴:
1、レールの幅は調整でき、4種類の異なる幅の製品を同時に洗浄することができる、
2 、シート式洗浄は、洗浄効果がより顕著である、
3 、片側上下の材料構造で、材料箱を交換する必要はなく、洗浄後の製品は自動的に元の材料箱に戻り、混合バッチを根絶する。
4、ダブル洗浄トレイ、1つの洗浄と同時にもう1つの材料を供給し、生産効率を高める、
5 、ワンタッチで製品を交換し、設備のすべてのパラメータと設定を自動的にロードし、手動で設定する必要はありません。
6、手動洗浄と自動洗浄の両方をワンタッチで操作することで、操作がより簡単になります。
7、製品の安全な多重設計は、製品の変形損傷を与えないことを確保する、
8 、4つの通路はそれぞれの場所で独立して検査し、問題の所在を正確に判断する。
9 、設備の安全な多重設計、人身の安全を確保する、
10、モジュール化設計、国際ブランド配置、設備の安定運行を確保する。
インラインチップ真空プラズマ洗浄機はコストが低く、使いやすく、メンテナンス及びメンテナンス費用が低く、環境保護などの利点があり、チップ接着プロセス前、リードボンディング及び結晶被覆パッケージプロセス前の表面処理に応用できる。従来の独立型プラズマ洗浄機に比べて、インラインチップ式真空プラズマ洗浄機は自動化程度が高く、洗浄効率が高く、設備の清浄度が高く、適応範囲が広いなどの利点があり、大規模な全自動化生産に適している。
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