ULTRA QV 404 363シリーズ-超高精度CNC画像測定機

ULTRA QV 404は、測定精度E 1 xy=（0.25＋L/1000）μmを実現した超高精度CNC映像測定機である。

•直線度誤差を最小にするために、X、Y、Z 3軸移動方式は高精度三座標などに使用される空気軸受を採用している。•FEM（有限要素法）解析後の最適設計により本体の高剛性化を実現した。•基準となる測長方式には分解能0.01μmの光学式リニアエンコーダを用いた。このエンコーダの線形膨張係数はゼロであり、温度変化による誤差を最小限に抑えている。•ISO 10360-7：2011（JIS B 7440-7.2015）の精度保証を満たす。