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MidiLab 9000-CSI電子級試薬金属不純物含有量オンライン分析システム
MidiLab 9000-CSI電子級試薬の金属不純物含有量のオンライン分析システムは半導体工場及びFAB生産ラインにおける電子級湿式化学品の金属不純物含有量のオンライン監視システムであり、電子級湿式化学品の「サンプリング-輸送-希釈-座標-内標-注入-分析-報告」の全プロセス解決方案を提供する。
製品の詳細

利点

  • マルチ-集中サンプリングポイントまたは分散サンプリングポイント20以上
  • 「高速」:単一サンプル分析と異常再測定15分
  • 「良い」−バルブレス流路設計、ppt級流路本底
  • 「省」-省人、全自動オンライン解析、安心して、自動的にオンラインで標準曲を調合して、効率が向上します;コストを節約して、高純試薬はいくら配合して、標準容器を洗浄する必要はなくて、高純試薬の消費量はほとんど0に下がります
はんどうたいかいせき
半導体湿式電子化学品の金属不純物のオンライン検査
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オンライン照会
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