マイクロ波材料学ワークステーション--マイクロ波プラズマ化学蒸着システム

主な用途：
★このシステムは従来の化学蒸着装置としても、マイクロ波エネルギー化学蒸着装置としても、マイクロ波プラズマ化学蒸着装置としても使用できる
★主に半導体、広範囲の絶縁材料、ほとんどの金属材料と金属合金材料、グラフェン、ナノ材料、炭素繊維、炭化ケイ素、めっき膜などの新材料の新技術分野に応用する
★本モデルは高イオン化、高電子温度と電子密度、適用圧力範囲が広く、内部電極汚染がないなどの優れた性能を有し、マイクロ波プラズマは材料表面処理、ダイヤモンド薄膜の製造、
化学蒸着、エッチング及びメタン転化水素製造、長残光発光材料、セラミック焼結、カーボンナノチューブ修飾［3］、ナノ粉体合成、処理水汚染などの分野

製品特徴：
★垂直反応器の設計はプラズマを高密度にすることができる、対称なマイクロ波発生器装置により、発生するプラズマ環境をより均一にする
★共振器内に内部電極がなく、電極放電による汚染を避けることができ、また、その運転気圧範囲が広く、発生プラズマ密度が高く、領域が大きい、
安定性が高く、真空器と接触しないため、器壁による薄膜の汚染を回避することができる
★操作が簡単：ガス路接続方式はKF快速接続フランジ構造を採用し、材料の出し入れ過程を簡略化し、1本のカフだけでガス路接続を完成でき、操作が便利で、
複雑なフランジの取り付けプロセスをキャンセルし、取り付けによる損傷を軽減
★多機能：4種類の加熱方式は選択可能で可変：マイクロ波プラズマ、純マイクロ波、伝統的な電気加熱、混合加熱、金属と合金を含む非可燃性の任意の試料の熱処理に適応する
★二重温度領域構造：上部プラズマ領域または加熱領域下部サンプルテーブル加熱領域
★独自開発のマイクロ波場専用センサー、正確な温度制御
★セキュリティ：漏洩防止のためのインターロック保護遮蔽措置を独自に採用した安全で信頼性の高いマイクロ波遮蔽キャビティ設計、多重漏洩防止保護
*標準装備には専門のマイクロ波抑制器が搭載されている
*マイクロ波漏洩センサ内蔵
★省電力：使用寿命が長い：マグネトロンマイクロ波加熱は、従来の加熱ワイヤ、シリコン炭素棒、シリコンモリブデン棒などの加熱素子が損傷しやすい問題を回避し、解決し、また加熱素子による
損傷による時間、実験進度、修理費用などの各種損失
★無段可調、高安定度長寿命、れんぞくはマイクロ波源設備が連続的に安定して長時間運転できることを確保する
★組み込み型マイコン一体化温度制御システム、安定性制御の実現
★オーブン不要過程：炉室全体が自己発熱し、加熱が均一である
★マイクロ波エネルギーはすぐに開き、熱慣性がなく、温度を制御しやすい
★ユニバーサルホイールを搭載して足を調節し、移動と固定を容易にする

技術パラメータ：

モデル/モデル	WBDQC-4
かねつざいりょう	非可燃性で爆発性のある材料
マイクロ波周波数	2.45GHZ±50MHz
かねつほうしき	プラズマ加熱、純マイクロ波加熱、従来の電気加熱、混合加熱
最大電力/KW（連続、調整可能）	4
サンプルチャンバ長	標準100 mmはユーザーのニーズに合わせてカスタマイズできます
加熱サンプルキャビティ（材質）	石英管（マイクロ波プラズマ動作モード）	石英管&コランダム管（その他の加熱方式）
温度制御範囲/℃	1100℃石英試料キャビティ直径：Φ45 mm、Φ60 mm、Φ100 mmオプション、	1500℃コランダム試料キャビティ直径：Φ45 mm、Φ60 mmオプション、
温度試験素子	マイクロ波場専用センサ
温度分解能/℃	0.1
サンプルテーブルの最高温度範囲	室温-1200℃、より高温でオプション
温度制御精度/℃	1200℃以下±1、1200℃以上±2℃
温度偏差/℃
温度安定変動度/℃
れいきゃくほうしき	ふうれい
恒温域長/mm	標準100 mmはユーザーのニーズに合わせてカスタマイズできます
昇温速度（標準）	0～200℃/min（マイクロ波プラズマ動作モードを除く） 任意設定、プログラム可能、セグメント加熱
温度制御方式	10段はプロセスパラメータ、7インチタッチスクリーン操作、データ記憶機能付き、手動、自動、恒温制御モードを提供し、曲線はリアルタイムに表示する
せいぎょガス	制御ガス：H 2、CH 4、Ar、N 2、その他のガスオプション
りゅうりょうせいぎょ	標準2セットの質量流量制御器：七星華創（真空保護バルブの後置、真空モードに適合）、精度：0.8%
さいだいたいあつ	1MPa；制御応答時間：10 ms
真空システム真空ポンプ	RVP2008；圧力範囲：10-3 Torr ~ 760 Torr 最大抽気速度：8.5 m 3/h
しんくうけい	デジタル真空計：1 atm-10-1 Pa
標準	品質流量自動制御システムは制御コンピュータ及び制御ソフトウェアを搭載し、リアルタイムで成長パラメータを表示及び保存することができる
ガス路のその他の配置	キャビネット、ガス路及びバルブ等
ポート	ステンレスKF 50フランジコネクタ
電源電圧（V）	220
マイクロ波漏洩量/mW/㎥2	≤0.4
外形寸法（縦´幅´高さ）/mm	1100×750×1900

オプション機能：
品質流量制御システム、米国Alicat質量流量&コントローラ