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微小ガス熱式流量計
熱式ガス質量流量センサ（表示窓なし）口径：DN 3、DN 6、DN 8、DN 10 DN 3流量範囲：50、100、300、500、1000 sccm DN 6 ~ DN 10流量範囲：1、2、5、10、20、30、40、50 SLM流量試験精度：1.5%FS、2.5%FS.測定
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