型番：ASR-VMS-6050
テーブルX/Y軸ストローク600 MM*500 MM
Z軸ストローク有効空間235 mm、焦点調整ストローク250 mm、動作距離105 mm
大理石テーブルサイズ650 MM*550 MM
ガラスメササイズ450 MM*350 MM
伝動型伝動型：X/Y/Z軸台湾輸入精密リニアガイドと台湾輸入ボールねじ
サーボ駆動系の光学スケール分解能の測定：X/Y/Z軸0.0002 MM（0.2 UM）
測定精度：≤2.5 UM+L/250繰り返し精度：≤2.5 UM+L/250
機械室の放熱量の計算：
機械室内のコンピュータシステムを温度、湿度空間で操作するために、コンピュータ室内の総放熱量を計算しなければならない。その中には機械室内の機械の放熱量の総和（照明の一般照明灯は無視できる）が含まれる
・人員放熱量：一人平均600 BTY/時間
・将来拡張される設備（略）
・機械室空間放熱量：50 BTY/平方フィート