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製品の詳細
MarSurfXCR 20輪郭測定ドライバPCV 200.技術パラメータ
走査長さ（X方向）0.2 mm〜200 mm
測定範囲（Z方向）50 mmは350 mmアームに適している
25 mmは175 mmアームに適用
測定システム（X方向）高精度ラスタ測定システム
（レーザ干渉計による工場出荷時の較正）
測定システム（Z方向）インダクタンスセンサ、高精度、高線形度
0.38μm（15μm）
175 mm（6.89 in）アーム
測定点距離（X方向）1.0μmから8.0μm
ストローク偏差＜1μm
力測定（Z方向）1 mN〜120 mN下向きと上向き（ソフトウェアで設定可能）
ストローク上昇角が下向きに低下した場合は88°を超えず、上向きに上昇した場合は77°を超えない
測定速度（X方向）0.2 mm/sから4 mm/s
速度調整ピッチ0.1 mm/s
接触速度（Z方向）0.1 mm/sから1 mm/s
位置決め速度および0.1 mm/sから10 mm/sまで調整可能
戻り速度（X方向）
位置決め速度（Z方向）0.2 mm/sから8 mm/s
ロッド長さ175 mmと350 mm
測定針半径25μm
X+Z=方賢位置決め精度5μm
ドライバは±45°を測定している
コラムの角度調整
XZ二次元長±（2+L/50）μm
そくていごさ
円弧面接触誤差1.5μm
角度測定誤差U 95<3.0 min
U95<±3minR0.5mm-10mm
U95<±5minR10mm-100mm
半径測定誤差U 95=±7μm
R100mm-1000mm
MarSurfXCR 20粗さ測定ドライバGD 25.技術パラメータ
走査長max.25.4 mm（1.00 in）
走査速度0.1 mm/s and 0.5 mm/s
(0.0039 in/sand 0.020in/s)
測定誤差±2%
（+X）方向位置決め速度0.5 mm/s（0.020 in/s）
（-X）方向戻り速度approx.2 mm/s（0.079 in/s）
Z方向調整範囲max.4 mm（0.16 in）
Z方向接触ワーク速度approx.0.3 mm/s（0.012 in/s）
Rz残留プロファイル1）2）at 20 nm（0.00000078 in）
0.1 mm/s (0.0039 in/s)
Rz残留プロファイル1）2）at 30 nm（0.00000012 in）
0.5 mm/s (0.020 in/s)
直線度誤差0.2μm/25.4 mm（0.0000079 in/1.00 in）
角度調整範囲0.5°（9μm/mm（0.00035 in/0.039 in））
リミットスイッチbelow，in front，above，below
戻り始点繰り返し<0.05 mm（0.0020 in）、0.02 mm（0.00079 in）2 K
操作位置の任意の位置
測定ヘッドタイプはMFW 250に適用され、すべての継手スリーブ付きR pick-upに適用される
V型ベースは円筒状ワーク30 mm…
支持脚は平面または円筒ワーク>72 mm（>2.83 in）に適している
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・スペースを節約し、2つのドライバ（MarSurfPCV 200プロファイルドライバとGD 25粗さドライバ）を同じST 500またはST 750コラムに取り付けて交換して使用することができる
MarSurf XCR 20は理想的な粗さと輪郭測定のための機器である。 |
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Marsurf XC 20 + MarSurf XR 20 = MarSurf XCR 20 |
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この計器はすべての測定に必要で、時間と空間を節約することができる。粗さと |
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輪郭測定のユーザーインタフェースは分かれており、MarSurf XCR 20はMar社の最先端 |
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の測定システムで、半自動測定が可能です。
詳細または構成については、お電話ください/67902835 |
詳細または構成については、お電話ください/67902835
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