ぎじゅつパラメータ
じくばんごう
X
Y1/Y2
ストローク
600mm
700mm
インストール方法
サイドマウント
水平
ふか
7KG
7KG+Xじくじゅうりょう
可動子数
1
1
最大速度
1100mm/s
1100mm/s
最大加速度
1G
1G
一軸再生精度
±2um
±2um
位置決め精度(補償後)
±3um
±3um
すいへいちょくせんど
±0.01mm
±0.01mm
平面度
±0.01mm
±0.01mm
製品寸法図