LW 400 T大プラットフォーム有限遠距離チップ検査顕微鏡-グローバルベンダー

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LW 400 T大プラットフォーム有限遠距離チップ検査顕微鏡

製品の詳細

LW 400 T大プラットフォーム有限遠距離チップ検査金相顕微鏡

LW 400 Tは透明、半透明または不透明な物質の観測に広く応用されている。本装置は大移動範囲の載物台、落射照明器、平場金相対物レンズ、大視野接眼レンズを備え、画像がはっきりし、裏打ちがよく、同時に偏光装置を備え、ウエハを検出するために設計製造された。

標準構成

接眼レンズ	大視野WF 10 X（Φ18 mm）
対物レンズ	長距離平場消色差対物レンズ（カバーガラスなし）PL 5 X/0.12
	長距離平場消色差対物レンズ（カバーガラスなし）PL L 10 X/0.25
	長距離平場消色差対物レンズ（カバーガラスなし）PL L 20 X/0.40
	長距離平場消色差対物レンズ（カバーガラスなし）PL L 40 X/0.60
	長距離平場消色差対物レンズ（カバーガラスなし）PL L 80 X/0.80
接眼鏡筒	三眼鏡、傾斜30 730、（偏光板内蔵、切り替え可能）
落射照明システム	6 V 20 Wハロゲンランプ、輝度調整可能
落射照明システム	落射照明器は視野光欄、開口光欄、偏光板、（黄、青、緑）カラーフィルターと研磨ガラスを備えている
フォーカシング機構	ステージ昇降、粗微動同軸焦点調整、微動格子値0.7μm、粗動緩動調整可能、ベルトロック及びストッパ装置
コンバータ	五孔（外向式ボール内位置決め）
ステージ	三層機械移動式寸法：280 mmX 270 mm、移動範囲：204 mmX 204 mm

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