島津高性能X線蛍光計EDX-7000/8000機器概要

製品名称:エネルギー分散型X線蛍光分析器EDX-7000/8000(高性能SDD検出器)
製品紹介:


すべての分野の異なるアプリケーションを満たす
■電子・電気 ・RoHS指令、ハロゲンフリー等のスクリーニング分析 ・半導体、記憶装置、液晶、太陽電池などの各種薄膜分析
■自動車・機械 ・ELV指令へのスクリーニング解析 ・各種機械部品の構造解析及びめっき層厚、化学合成外膜付着量の検出
■鉄鋼・非金属 ・原材料、合金、半田、貴金属の主成分、残留成分の分析 ・スラグの組成分析
■鉱業 ・選鉱技術の発色鑑別分析
■窯業 ・セラミックス、セメント、ガラス、レンガ、粘土の分析
■石油・石油化学 ・油中硫黄元素の分析 ・潤滑油中の各種添加元素及び混入元素の分析
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■化学工業 ・無機・有機原料と製品分析 ・触媒、顔料、塗料、ゴム、プラスチックの分析
■環境 ・土壌、排水、焼却灰、ろ過、PM 2.5などの成分分析
■医薬 ・合成時の残留触媒分析 ・原薬中の不純物分析、異物分析
■農業・食品 ・土壌、肥料、植物の分析 ・食品の原料分析、添加元素管理、異物混入の分析
■その他 ・考古学的サンプル及び宝石成分分析 玩具・日用品における有害重金属元素の測定等
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比類のない解析パフォーマンス
高性能のSDD検出器を採用し、ハードウェアの最適化を確保し、これまでにない高感度・高速分析と高解像度を実現した。6 C~を検出できるモデルが正式にラインアップ(EDX-8000)された。
高感度–検出下限1.5~5倍向上-
高性能のSDD検出器と最適化された光学系と一次フィルタの組み合わせにより、これまでにない高感度を実現します。
軽い要素から重い要素まで、全範囲で簡単に対応できます。従来のSi(Li)半導体検出器を用いた分析装置に比べて感度も優れている。
高速-分析速度を最大10倍に向上-
SDD検出器は単位時間当たりのX線蛍光の計数率が高いため、より短い検出時間で高精度な分析を行うことができる。特に金属材料の分析は、この特徴を最大限に発揮することができる。
測定時間と標準偏差(定量値偏差)の関係
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実際のサンプルの比較
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鉛フリーはんだに含まれる鉛(Pb)をそれぞれ従来型とEDX-7000/8000で分析し、再現性を比較した。 |
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X線蛍光解析は、測定時間を長くすることによりX線蛍光の計数を増加させ、精度(再現性)を向上させることができる。
高計数率SDD検出器を搭載したEDX-7000/8000は、従来モデルに比べ、より短時間で分析精度を保証することができる。
高解像度
エネルギー分解能は、従来のSi(Li)半導体検出器を搭載したモデルに比べて優れている。
異なる元素のピークオーバーラップの影響が減少し、信頼性が向上する。
エネルギー分解能の比較(試料:PPS樹脂)
液体窒素不要
SDD検出器は電子冷凍方式であり、液体窒素冷却は必要ない。煩わしい液体窒素補充作業から解放されるだけでなく、機器のメンテナンスコストを削減することができる。
検出要素範囲
•EDX-7000で15 P以下の軽元素分析を行う場合は、真空検出ユニットまたはヘリウム置換検出ユニット(いずれもオプション)が必要です。
•EDX-8000で15 P以下の軽元素分析を行う場合は、真空検出ユニット(オプション)が必要です。
EDX-8000による超軽量元素分析
EDX-8000搭載のSDD検出器ウィンドウは極薄膜特殊材料を採用し、炭素(C)、酸素(O)、フッ素(F)超軽量元素を検出することができる。
EDX-8000を用いたフッ素元素検出の分析結果
優れた汎用性
微小サンプルから大型サンプル、粉末サンプルから液体サンプルまで、さまざまなサンプルに柔軟に対応しています。
軽元素の高感度分析を行う際に必要な真空検出ユニット、ヘリウム置換検出ユニット、自動連続測定を実現できる12ビットサンプルターンテーブル(オプション)を備えている。
4種類のコリメータ及びCCDサンプル観察装置
1、3、5、10 mmΦの4種類のコリメータ自動切替
試料サイズによって照射直径は4種類の異なる選択が可能である。
微小異物分析と失効解析には1 mmΦ、少量試料には3 mmΦまたは5 mmΦを用い、試料の形状に応じて最適な照射直径を選択することができる。
1 mmΦコリメータの選択
標準配置CCDサンプル観察装置
試料観察装置によりX線の照射位置を確認することができる。
微小サンプルの検出、複数のサンプル点からなるサンプルの検出、微量サンプル容器を用いた検出などの場合に適している。
5 mmΦコリメータを選択する場合、
微量サンプル容器の使用
自動切り替え5種類の一次フィルタ
1次フィルターを用いてX線管から発生する特性X線と連続X線を低減し、検出感度を向上させる。特に微量元素の分析に有効である。
EDX-7000/8000は5種類(OPENを含む6種類)の1次フィルタを搭載し、ソフトウェア操作の自動切り替えを実現することができる。
フィルタ |
有効エネルギー(KeV) |
対応要素の例 |
#1 |
15~24 |
Zr, Mo, Ru, Rh, Cd |
#2 |
2~5 |
Cl, Cr |
#3 |
5~7 |
Cr |
#4 |
5~13 |
Hg, Pb, Br |
#5 |
21~24(5~13)* |
Cd (Hg, Pb, Br) |
*フィルタを使用すると、()内のエネルギー範囲の背景が低下します。
コリメータと一次フィルタは自由に組み合わされる
コリメータと1次フィルタは独立して駆動され、自由な組み合わせは制限されていない。6種類×4種類=24種類の組み合わせが選べます。
同時に、すべての組み合わせはFP法に対応して定量分析することができる。
デザイン性のある外観
460 mm幅のコンパクトボディに大容量のモデルルームを装備
460 mm幅のコンパクトボディで、当社の従来機種に比べてサイズを20%削減しました。
コンパクトなボディなのに、最大200(W)×275(D)×約100(H)mmのサンプルを置くことができる大型サンプルルームを備えています。
認識度の高いLED表示ランプ
X線が発生すると、分析機器の後ろのX線表示灯と前のX-RAYS ON表示灯が点灯します。分析時にX線表示ランプの両側に青ランプが点灯した。作業者が分析現場にいなくても分析機器の状態が一目でわかる。
「はじめまして」でも簡単に使いこなせるソフトPCEDX Navi
X線蛍光解析を各実験室に近づけるために、深浅なソフトウェアPCEDX Naviが誕生した。
直感的に操作できる簡単な画面により、初心者から専門家までのユーザー一人一人が便利な操作環境を体験できるようになります。
シンプルなインタフェース
1つのインタフェース内にサンプル画像を同時に表示し、分析条件を選択し、サンプル名を入力することができます。測定インタフェース上でコリメータを直接切り替えることができる
サンプル画像を見ながらコリメータ直径を切り替えることができます。
また、選択した直径は黄色の円で表されます。
サンプル画像の自動保存
測定開始時にサンプル画像を自動的に読み取り、データフォルダに関連付けて保存します。
測定終了後、サンプル画面とともに、元素名、濃度、3δ(測定の標準偏差)が同一界面にはっきり表示される。マウスを簡単にクリックすると、「分析結果一覧」または「レポート」が表示されます。
ターンテーブル使用時の測定準備画面(サンプル位置確認時)