ICP−MSは非常に感度の高い元素分析装置であり、溶液中の含有量がppbまたはppb以下の微量元素を測定することができる。半導体、地質、環境、バイオ製薬などの業界に広く応用されている。ICP−MSの総称はインダクタンスレンコン結合プラズマ質量分析であり、ICP技術と質量分析を結合した分析機器である。ICPはインダクタンスコイルに印加された強力な電力の高周波無線周波信号を用いてコイル内部に高温プラズマを形成し、ガスの推進によってプラズマの平衡と持続的なイオン化を保証し、ICP−MSではICPはイオン源として機能し、高温プラズマはほとんどのサンプル中の元素を1つの電子からイオン化させて1価の正イオンを形成した。質量スペクトルは質量スクリーニングと分析器であり、異なる核比（m/z）のイオン通過を選択することであるイオンの強度を検出し、さらに分析してある元素の強度を算出する。
機器の特徴：
（1）多元素測定：7 O種以上の元素（LiからUまで）に対して微量と微量分析を行うことができ、検出範囲は1 ppt未満から500 ppm以上まで、9個の尺度に達することができる。
（2）スペクトルが簡単：各元素（Inを除く）には、他の元素のスペクトル線に干渉されない同位体のスペクトル線がある。したがって、多元素測定時に干渉が少なく、また、サンプル中の有機相干渉が小さく、有機相中の元素を測定することができる。
（3）感度が高い：サンプル量が少なく、試薬使用量が少ない。
（4）速度が速い：通常の分析時間1〜5 min（洗浄1〜2 rainを含む）。
（5）柔軟な応用：測定条件を自動的に設定し、自動的に最適化する。
（6）高速半定量分析：少量の元素を定量的に定量した後、計器は同位体の相対感度に基づいて全元素の含有量を測定することができ、この方法は元素選別を行う際に非常に有用である。
（7）同位体測定：安定同位体または放射性同位体の比分析を行うことができる。
応用分野：
（1）環境分析：土壌、水質、空気（大気サンプリングを含む）の汚染程度及び汚染源項目の分析。
（2）臨床医学：生物サンプル中の微量元素と有毒重金属の分析、例えば血液と尿（サンプル量は0.2～0.5 m 1しか必要ない）、すでに職業病の全面調査と児童の尿鉛の全面調査などの仕事を展開した。
（3）薬学：薬物の品質制御。
（4）食品及び化粧品の安全性評価：微量元素と有毒重金属元素の分析。
（5）核医学：同位体分析。
（6）電子工業：微量金属元素分析。
（7）地球科学：同位体比及び元素構成分析、希土類元素分析を含む。
（8）その他の科学研究。