The Hysitron PI 89走査電子顕微鏡併用ナノインデンテーション計は走査電子顕微鏡（SEM、FIB/SEM）の**イメージング能力を利用して、イメージングと同時に定量ナノ力学テストを行うことができる。この新しいシステムはBrukerの優れた容量センシング技術を搭載し、**市場の**バッチ商用化されたその場SEMナノ力学プラットフォームの優れた機能を継承している。このシステムは、ナノインデンテーション、引張、マイクロピラー圧縮、微小球圧縮、カンチレバー曲げ、破断、疲労、動的試験、機械的特性イメージングなどの機能を実現することができる。

先進的なパフォーマンスと機能

Hysitron PI 89のコンパクト設計により、*大きなサンプルテーブルの傾斜、測定パイロット時に画像化された*小動作距離。PI 89は、競合製品よりも広い適用性とパフォーマンスを提供します。

• 再設計された構造により、適用性と使いやすさが向上
• 1 nm精度の線形エンコーダにより広範囲でのより良い自動試験測位反復性を実現
• より高いフレーム剛性（~ 0.9 x 106 N/m）は、試験プロセスのより良い安定性を提供する
• 2種類の回転/傾斜モードは都市と農村、FIB加工、およびEDS、CBD、EBSD、and TKDなどを含む各種検出器の併用を実現する。

こゆうへんいせいぎょ

Hysitron PI 89はブルックの先進的なサブナノスケールセンサと圧電力駆動構造を利用して真の変位制御と荷重制御試験を実現する：

• 固有変位制御モードでは、圧電アクチュエータは、力センサが力を測定すると同時に、予め設定された変位率の変位制御を実現する。
• 真荷重制御モードでは、力センサは静電力負荷を直接通過し、同時に3板容量によって変位を測定する。
• センサの超低電流設計により、温漂*が小さくなり、比類のない敏感な荷重と変位測定を実現する。

SEMイメージング及び他の性能イメージングに同期したその場力学試験

Hysitron PI 89で得られたその場力学的試験結果はSEMイメージングと同期して並列表示される。これにより、ユーザーは、ナノメートルからミクロンスケールまでのエンジニアリング材料の性能、寿命、耐久性に対する欠陥、ひずみ、熱/電気刺激の影響を観察することができる。この同期により、より多くの分析が可能になります。

• 回転/傾斜試料台はEBSDと機械的性能イメージングの併用を実現する
• キャビティを変換することなく、機械的性能試験の前、後にFIB加工を直接行うことができる