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日立高性能タングステンフィラメント走査型電子顕微鏡SU 3500
日立高性能タングステンフィラメント走査電子顕微鏡SU 3500は、新しい電子光学と画像処理システムを採用し、ユニークな6バイアス設計を採用し、低圧ビーム流が大幅に増強され、解像度が向上し、広範な低真空範囲はより多くのタイプの導電性のないサンプル、特にオペレーティングシステムの自動化速度と正確性を観察
製品の詳細

日立高性能タングステンフィラメント走査型電子顕微鏡SU 3500

製品紹介:

SU 3500は新しい電子光学と画像処理システムを採用し、独特な6バイアス設計を採用し、低圧ビーム流が大幅に増強され、解像度が向上し、広範な低真空範囲はより多くのタイプの非導電性のサンプルを観察するのに有利で、特にオペレーティングシステムの自動化速度と正確性は、簡単な3ステップで完成でき、作業速度を高めるだけでなく、初心者の操作にも便利である。

高画質のタングステンフィラメント走査電子顕微鏡は、画像品質がさらに向上している。

高画質化により走査型電子顕微鏡の分析能力と操作性を向上させ、日立の先進技術である「独自の工夫」を凝らした。
SU 3500タングステンフィラメント走査電子顕微鏡は、「3 kV加速電圧7 nm分解能」を実現した新しい電子光学系を有し、現実的に立体的に画像化できる「リアルタイム立体観察機能」*1、及びより高い検出効率を有する「UVD超高感度可変圧力検出器」*1
それは観察と分析のために新しい基準を提出した。
*1:セルフタイマー

日立高性能タングステンフィラメント走査型電子顕微鏡SU 3500の特徴:

  • (*2):日立SEM S-3400 Nと比較低加速電圧観察時の分解能がより高く、サンプルzui表面の微細形状をより良く観察し、サンプルの損傷をより効果的に低減することができる

  • 新しい設計の電子光学系と信号処理技術により、高速走査と低騒音の観察を実現

  • 従来の走査型電子顕微鏡と比較して*2、自動機能短縮*3約11秒

  • 低真空時にサンプルzui表面の微細形状を非常に良く観察できる「UVD(超高感度可変圧力検出器)」*4

  • リアルタイム立体画像化を実現した「リアルタイム立体視機能」がある*4

(*3):観察条件によって時間が変動する
(*4):自選

仕様:

プロジェクト

記述

二次電子分解能 3.0 nm(加速電圧=30 kV、WD=5 mm高真空モード)
7.0 nm(加速電圧=3 kV、WD=5 mm高真空モード)
後方散乱電子分解能 4.0 nm(加速電圧=30 kV、WD=5 mm低真空モード)
10.0 nm(加速電圧=5 kV、WD=5 mm高真空モード)
拡大倍率 5~30000倍(ネガ倍率*5
7~800000倍(ディスプレイ表示倍率*6
かそくでんあつ 0.3〜30kV
可変圧力範囲 6 - 650パ
zui大サンプルサイズ 直径200 mm
サンプルテーブル X 0〜100mm
Y 0〜50mm
Z 5〜65mm
R 360°
T -20° - 90°
観察可能領域 直径130 mm(回転併用)
zui大サンプル高さ 80mm(WD=10mm)
モータ台 5軸標準
電子光学系 電子銃 プリペアタングステンフィラメント
対物レンズ絞り 4穴可動絞り
プローブ エフハートソーンリー二次電子検出器
高感度半導体後方散乱電子検出器
EDX分析WD 10 mm(取出角35°)
画像表示 オペレーティングシステム ウィンドウズ® 7*7(予告なく変更された場合)
画像表示モード 全画面モード(1280×960ピクセル)
小画面モード(800×600ピクセル)
デュアル画像表示(800×600ピクセル)
4画面表示(640×480ピクセル)
信号混合モード
排気システム 操作 全自動排気
ターボ分子ポンプ 210リットル/秒×1
メカニカルポンプ 135L/min(162L/min、60Hz)×1

(*2):127 mm×95 mm(画像サイズ4'×5')の表示サイズ規定倍率
(*3):345 mm×259 mm(画素1280×960)の表示サイズで所定倍率
(*4):Windows®は、Microsoft社の米国およびその他の国における登録商標です。

応用分野:

1、生物医学

2、食品衛生

3、電子半導体

4、自動車製造

5、新エネルギー

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