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製品の詳細
技術指標
真空チャンバは、ユーザのニーズに応じて異なるサイズを設計することができる
限界真空≧1 x 10-5 Pa
加熱温度≦800℃
システム自体漏れ率≧1 x 10-12 mbar l/s
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