膜厚制御器-グローバルベンダー

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鄭州市ハイテク区マリーゴールド街鄭州億達科技新城5号棟4階401

膜厚制御器

簡単な紹介：CY-FDC-S膜厚制御器は電子ビームめっき、マグネトロンスパッタリング、抵抗熱蒸発などの各種めっき膜厚制御の場合に適用する。蒸発源と閉ループ制御を形成し、リアルタイムで完全なめっき膜データを制御し、表示し、電力、速度、厚さと使用時間を含み、複雑な光学と金属多層薄膜をめっきすることができ

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製品の詳細

詳細：

膜厚制御器

技術的特徴：

1. フルタッチスクリーン操作で、簡単で使いやすい、

2.32個々の膜系50/100層自動めっき膜、

3. 12ろしんごうにゅうりょく/12路開閉量出力、

4. 全自動、半自動、手動制御モードを提供する;

5.制御可能2個のソース、1セットの作業、もう1セットのプレ溶解、

技術パラメータ

	CY-FDC-S制御器
けっしょうしんどうすう	6 MHz（2.5 M 3 M 5 M 9 M結晶オプション）
表示方法	5”カラータッチパネル＋デジタルチューブ表示速度と実厚
操作方法	タッチスクリーン
しゅうあつ	00μ0000Å-99μ9999Å
厚み表示解像度	1Å/s
レート表示解像度	0.1Å/s
めっき層数	32膜系、各膜系50/100層、
プローブ数	A B
ツールファクタ	0.01-99.99
時間表示	00:00:00-23:59:59 H:M:S
パワーディスプレイ	0～99.9%
プリメルトパワー	0～99%
プリめっきパワー	0～99.9%
プリメルト時間/プリめっき時間	0～99:99 m:s
プリメルト保温時間 /プリメッキ保温時間	0～99:99 m:s
めっき速度（設定速度）	0～999.9Å/s
ざいりょうきおく	257+カスタム10種類
に知らせる	RS232/RS485
制御可能な蒸発源	2個、1セットの作業が可能で、もう1セットのプレ溶解
しゅつりょくせいぎょ	±10V/5V/2.5V
I/インタフェース	12ウェイ信号入力/12ウェイスイッチ量出力
制御可能なるつぼの数	1～16個
めっき表示	レートカーブ/数値
めっきサイクル数	膜系ごとに50/100層自動
シャーシサイズ	480×280×89 mm（2 U 19”シャーシ）

特殊な機能：

1、手動、半自動、自動3多種のめっき機の配置を満たすめっきモード、

2、人工的にメッキを停止する：メッキ過程中に人工的にメッキを終了する、

3手動制御：初回めっき工程の要求を確定する、

4、中断膜系：自動と半自動めっき膜中に問題を発見したり、故障が発生したりして、めっき膜を停止して、自動的に現在の状態を保存することができて、故障**後、中断膜系から引き続きめっきすることができます、

5、自動または半自動めっきの場合、結晶振動が故障した場合、めっきを中止し、現在の電力時間でめっきし、ウェハ継続（多ウェハプローブ）を切り替えることができます。

6、2つのソースが同時にプリメルト：現在の層めっき開始過程において、同時に第2層を予備溶融して、時間に対する緊張を満たす場合、

7、パスワード保護：膜系と膜層パラメータのパスワード保護機能、技術パラメータが非技術者によって変更されないように保護する、

8、めっきデータ記録：自動または半自動めっきの場合、システムは各層の膜の成膜時間、*最終厚さ速度パラメータを記録することができる。

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