FT-330シリーズ一般的な4プローブ角抵抗率試験器の詳細
FT-330 Series common four
probe resistance ratio test instrument
適用範囲Widely
used:
1.カバーフィルム、導電性高分子膜、高、低温電熱膜、断熱、導電性窓膜導電性(遮蔽)布、装飾膜、装飾紙、金属化ラベル、合金系箔フィルム、溶融、焼結、スパッタ、コーティング、コーティング層、抵抗式、容量式タッチスクリーンフィルム、電極塗料、その他の半導体材料、薄膜材料の抵抗試験
2.シリコンウェハブロック、ウェハ抵抗率及び拡散層、エピタキシャル層、ITO導電箔膜、導電性ゴムなどの材料ブロック抵抗半導体材料/ウェハ、太陽電池、電子部品、導電性薄膜(ITO導電膜ガラスなど)、金属膜、導電性エナメル膜、蒸発アルミニウム膜、PCB銅箔膜、
3.EMIコーティングなどの物質のシート抵抗と抵抗率導電性塗料、導電性ペースト、導電性プラスチック、導電性ゴム、導電性フィルム、金属フィルム、
4.帯電防止材料、EMI保護材、導電性繊維、導電性セラミックスなど、
機能記述Description:
1.四プローブ単電気測定方法
2.液晶表示、自動測定、自動レンジ、自動係数補償。
3.集積回路システム、定電流出力.
4.オプション:PCソフトウェアはデータ管理と処理を行う。
5.中国語または英語の2つの言語操作インタフェースの選択を提供する
参照基準:
1.シリコンウェハ抵抗率測定の国際標準(ASTM F 84)。
2.GB/T 1551-2009「シリコン単結晶抵抗率測定方法」。
3.GB/T 1551-1995「シリコン、ゲルマニウム単結晶抵抗率測定直流両プローブ法」。4.GB/T 1552-1995「シリコン、ゲルマニウム単結晶抵抗率測定直流四プローブ法」。
型番とパラメータ |
Models and technical parameters |
仕様モデル |
FT-331 |
FT-332 |
FT-333 |
FT-334 |
FT-335 |
FT-336 |
1.ブロック抵抗範囲Sheet |
resistance |
10-5~2×105Ω/□ |
10-4~2×105Ω/□ |
10-3~2×105Ω/□ |
10-3~2×104Ω/□ |
10-2~2×105Ω/□ |
10-2~2×104Ω/□ |
2.抵抗率範囲Resistivity |
10-6~2×106Ω-cm |
10-5~2×106Ω-cm |
10-4~2×106Ω-cm |
10-4~2×105Ω-cm 10-3~2×106Ω-cm |
10-3~2×105Ω-cm |
テスト電流範囲 |
Test current |
0.1μA ,1μA,10μA,100µA,1mA,10mA,100mA 10μA,100µA,1mA,10mA,100mA |
0.1μA ,1μA,10μA,100µA,1mA,10mA,100mA |
10μA,100µA,1mA,10mA, |
100mA |
0.1μA,1μA,10μA,100µA,1mA,10mA,100mA |
1μA,10μA,100µA,1mA,10mA,100mA |
4.電流精度Current |
accura |
±0.1% |
±0.2% |
±0.2% |
±0.3% |
±0.3% |
±0.3% |
5.抵抗精度Resistance |
≤0.3% |
≤0.3% |
≤0.3% |
≤0.5% |
|||||
≤0.5% |
≤0.5% |
|||||
6.示度displayを表示する |
液晶表示:抵抗、抵抗率、角抵抗、温度、単位換算、温度係数、電流、電圧、プローブ形状、プローブピッチ、厚さ、導電率LCD:resistance. resistivity. sheet |
|||||
resistance. temperature. unit conversion.temperature coefficient. current. |
voltage. probe shape. probe spacing. thickness. conductivity |
|||||
7.試験方式test |
mode 一般的な単電力測定general single electrical measurement |
|||||
8.動作電源パワー |
入力:AC 220 V±10%.50 Hz消費電力:<30W 9.誤差errors |
≦4%(標準サンプル結果Standard Sample results)
1.10.オプション機能chooseto buy
1.pcソフトウェアを選択購入する、2.方形プローブを選択購入する、選択購入3.直線形プローブ、選択購入4.テストプラットフォーム、5.標準抵抗
1.pc software; 2. square probe; 3. linear
probe; 4. test Platform.
probe spacing: 1mm;2mm;3mm in
needle. white steel needle. gilded copper hemispherical needles.
四プローブ法による薄層試料の角抵抗計算と試験原理は以下の通りである
:
直線4プローブ試験レイアウトは図8のように、隣接する針距離はそれぞれS 1、S2、S3,物理的基礎と電気的原理に基づいて:
電流が1、4プローブ、2、3プローブの試験電圧を通過する場合、以下のように計算する:
計器の動作原理図
---
インタフェースを表示
よんプローブプローブ
PC
ソフトウェアインタフェース図
レポート・サンプルのテスト
手順と流れ
1.電源を入れ、5分間予熱する.
2.プローブとテストプラットフォームを組み立てる。
3.必要なパラメータを設定する.
4.測定サンプル
5.データをエクスポートする.
利点の説明:
1.自動レンジ
2.電気二重結合試験方法
3.標準抵抗校正装置
4.PCソフトウェアの実行
5.抵抗、抵抗率、導電性データを同時に表示する.
6.5桁の有効数字を表示することができる.
7.中国語と英語のインタフェース
一部のお客様事例
済南展雄電子有限公司
青島啓東電子設備有限公司
福建万龍ダイヤモンド工具有限公司
杭州晶鑫めっき膜包装有限公司
丹東海浩電子科技有限公司
杭州晶鑫めっき膜包装有限公司
華南理工大学
極東フォスター新エネルギー有限公司
南方科学技術大学
福建省泉州万龍実業有限公司
蘇州環明電子科技有限公司
石家荘武器学院
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南昌公瑾科技有限公司
株式会社ウッドフォレスト
北京瑞億斯科技有限公司
浙江納沛新材料有限公司
深セン市中科測儀電子科技有限公司
寧波エンマイ知能科学技術有限公司
北京慧遠偉業科学技術有限公司
中山市広衛消費設備有限公司
成都万成科学技術有限公司
河北徳凱鉄道信号器材有限公司
海南冷港科技有限公司
浙江世泰実業有限公司
1.南昌公瑾科技有限公司上海蒙健実業有限公司
2.北京雪迪龍科技株式会社
芸奥品イメージング技術蘇州有限公司
3.安徽師範大学
広西興宏源科技有限公司
4.浙江立徳製品技術有限公司
株洲マグメット電気有限会社
5.江陰市中興光電実業有限公司
江蘇儀征電子管有限公司
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