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DS 300マスフローコントローラ
DS 300圧力式ガス質量流量制御器は半導体業界に対して開発された半導体装置に適したガス質量流量制御器であり、半導体装置のエッチング、スパッタリングなどのプロセスに用いられる。DS 300は圧力原理に基づく流量センサ技術と高精度圧電弁制御技術を用いて製品にゼロ漂小、精度が高く、応答速度が速く、圧力が
製品の詳細
利点
•制御精度が高く、精度は±1.0%S.P.（≧10%F.S.）に達することができる。
•応答速度が速く、応答時間≦0.5 sec。
•圧力原理に基づく流量センサー技術を採用し、製品に圧力不感受性特性を持たせ、大きな気源圧力変動を適用することができる。
•DS 300は有効な機械加工技術と表面処理技術を用いて深い小孔が電気研磨（EP）できない或いは難しい難題を解決し、孔径が比較的小さい（孔径<1 mm）、深い径比が比較的大きい（>10）ステンレス鋼の小孔、深い盲孔及び交差孔の表面電気化学研磨処理を実現し、SEMI基準の要求に完全に符合する。
技術パラメータ
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DS300C |
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モデル |
DS300C |
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バルブタイプ |
常閉 |
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流量仕様（N 2） |
(0～30,50,100,200,300,500) SCCM |
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せいど |
±1% S.P. (≥10% F.S.) |
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線形 |
±0.5% F.S. |
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くりかえしせいど |
±0.2% F.S. |
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レスポンス時間 |
≤ 0.5sec |
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いりぐちあつりょく |
240～450 KPa流量規格≦5 SLM |
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でぐちあつりょく |
≦1.2 KPa流量規格≦5 SLM |
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おんどけいすう |
ゼロ：≦±0.02% F.S./℃； |
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たいあつ |
3 MPa |
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ろうえいりつ |
1×10-11Pa·m3/ sec He |
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シール材 |
メタルシール |
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さいだいどうさあつりょく |
0.45MPa |
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動作環境温度 |
（10～45）℃ |
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にゅうりょくしんごう |
数字：RS 485またはDeviceNet |
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しゅつりょくしんごう |
数字：RS 485またはDeviceNet |
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ゼロフロー |
ゼロ補正がない場合＜0.6%F.S.／年 |
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電源装置 |
±8～±16 VDC（双極）または+14～+28 VDC（単極） |
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ひょうめんかがくせいぶん |
Cr/Fe比≧2.0、 |
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ひょうめんあらさ |
Ra 5μinch |
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標準ジョイント形式 |
VCR 1/4雄継手、 |
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電源コネクタ形式 |
D型9ピン雄継手、 |
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じゅうりょう |
1.2Kg |
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