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D 07-11質量流量制御器&流量計
D 07-11は熱式質量流量計であり、質量流量制御器は各種ガスの測定と制御に応用でき、測定のほかにガスの質量流量を精密に制御でき、質量流量計（MFM）はガスの質量流量を精密に測定できる。D 07-11製品は七星流量計が開発した高圧製品で、最高耐圧10 MPaである。
製品の詳細
特徴
•高耐圧性
•ゴムシール、アナログ回路のMFC
•DB 15型電気プラグを採用し、国際標準機械コネクタ
•CE認証、国際互換性
技術パラメータ
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番号付け |
プロジェクト |
D07-11C |
D07-11CM |
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1 |
流量仕様 |
( 0~5,10,20,30,50,100,200,300,500) SCCM |
( 0~5,10,20,30,50,100,200,300,500) SCCM |
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2 |
せいど |
±1 % F.S (20,30SLM: ±2 % F.S) |
±1 % F.S (20,30SLM: ±2 % F.S) |
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3 |
線形 |
±0.5 % F.S (20,30SLM: ±2 % F.S) |
±0.5 % F.S (20,30SLM: ±2 % F.S) |
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4 |
くりかえしせいど |
±0.2 %F.S |
±0.2 %F.S |
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5 |
レスポンス時間 |
電気特性：10 secガス特性：≦4 sec |
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6 |
さいだいさぎょうあつりょく |
10 MPa |
- |
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7 |
きあつこうか |
- |
＜ 0.02 MPa |
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8 |
作動差圧範囲 |
≤10SLM (0.2 ~ 0.8) MPa |
- |
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9 |
たいあつ |
10 MPa |
10 MPa |
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10 |
動作環境温度 |
5 ℃ ~ 45 ℃ |
5 ℃ ~ 45 ℃ |
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11 |
入出力信号 |
0 V ~ +5.00 V |
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12 |
電源装置 |
+15 V 50 mA |
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13 |
外形寸法 |
詳細は図4参照 |
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14 |
じゅうりょう |
1.2kg |
1kg |
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