ろ過精度0.003μm推奨流量500～3000 L/min

●超大流量
入力側の一回性流量が500～3000リットル/minの大型ガスラインの場合に適している。

●高いろ過精度
0.003μmの高いろ過精度で、脈動性の強いセラミック元素を使用しており、目詰まりがほとんどないため、定期的なメンテナンスを行う必要はほとんどありません。

●高性能
専用の200℃ベーキングヒーター（オプション）は、水分、酸素などの成分をppb以下に制御することができます。

仕様：