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CS 330マスフローコントローラ&流量計
CS 330製品は七星華創流量計が新たに開発したハイエンドデジタル型製品で、最高流量は200 SLM窒素ガスに達することができ、デジタル/アナログ制御モードを実現することができる、製品は新型の全金属密封構造形式、大流量、低圧損電磁調節弁、及び先進的な人工知能ロボット金属表面研磨技術を採用し、不活性ガ
製品の詳細
利点
•新しい金属密封構造形態。この密封構造形式は密封が信頼でき、組み立て技術が簡単で、耐食性などの優位性があり、各種ガス流量の測定に広く適用されている。
•体積が小さく、漂いが小さく、干渉に強いセンサー。このセンサは上下対称性構造設計を採用し、それによってセンサのゼロ漂小を保証した、センサー内部に保温綿を設置し、環境温度がセンサーに与える影響を大幅に低減し、センサーの耐干渉能力を高め、ガス流量検出の精度を確保した。
•先進的な人工知能ロボットの表面研磨技術。CS 330シリーズ製品の金属表面粗さは0.1 RAに達し、SEMI基準に厳格に従って生産製造される。
•CS 330シリーズ製品は±8 V ~±16 Vデュアル電源または+14 V ~+28 Vシングル電源供給をサポートする、デジタル、アナログ入出力をサポートしています。
•CS 330シリーズ製品はDB 9、DB 15、DeviceNet（側面、上部）を含む多種の電気インタフェースをサポートする、RS 485、DeviceNet通信方式をサポートする。
技術パラメータ
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CS330C、D |
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モデル |
CS330C、D |
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バルブタイプ |
常閉 |
なし |
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流量仕様（N 2） |
(100,200) SLM |
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せいど |
±1.0% S.P. (＞35% F.S.) ±0.35% F.S. (≤35% F.S.) |
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線形 |
±0.5% F.S. |
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くりかえしせいど |
±0.2% F.S. |
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レスポンス時間 |
≤ 1 sec |
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作動差圧範囲 |
100 ~ 300 KPa （50＜F≤100SLM） |
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おんどけいすう |
ゼロ：≦±0.02% F.S./℃；調整時：≤±0.1% F.S./℃ |
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さいだいどうさあつさ |
1 MPa |
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たいあつ |
3 MPa (435pisg) |
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ろうえいりつ |
5 x 10-12Pa·m3/ sec He （5 x 10-11atm.cc/sec He） |
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シール材 |
きんぞく |
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動作環境温度 |
（0～50）℃ |
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にゅうりょくしんごう |
数値:RS 485またはDeviceNetTM |
なし |
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しゅつりょくしんごう |
数値：RS 485またはDeviceNetTM |
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ゼロフロー |
ゼロ補正がない場合＜0.6%F.S.／年 |
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電源装置 |
±8～±16 VDC（双極）または+14～+28 VDC（単極） |
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ひょうめんかがくせいぶん |
じょうたい |
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標準ジョイント形式 |
VCR 1/2´´ |
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電源コネクタ形式 |
D型9ピン雄継手、D型15ピン雄継手、DeviceNetコネクタ |
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じゅうりょう |
2.6 Kg |
1.5 Kg |
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