CS 200質量流量コントローラ&流量計-グローバルベンダー

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北京市経済技術開発区文昌大道8号（郵便番号：100176）

CS 200質量流量コントローラ&流量計

CS 200ガス質量流量制御器は、先進的なセンサと温度補償技術を採用しているため、製品精度は設定値の1%以内に達することができ、低温度係数は製品が異なる環境温度に適応することを保証することができる。同時に、製品は高速制御アルゴリズムを採用して、流量計全体の応答時間の方面を更に多彩にした。全レンジ内で

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利点

•採用した定電力センサの原理は、温度変化時に相応の補償を行い、根本的に流量計のゼロフロー現象を抑制し、センサの線形性を保証した。

•CS 200 C製品は専用の金属表面処理技術を採用し、ガスと接触する表面金属材料はすべて316 LVVを使用し、CS 200 C製品の金属表面粗さはさらに10 RA以下に達し、CS 200 D製品の金属表面粗さは25 RAに達することができる。

•CS 200製品は厳格にSEMI基準に従って製造され、サイズは国際共通のSEMI基準に適合している。

•CS 200シリーズ製品は±8 V～±16 Vデュアル電源をサポートし、+14 V ~+28 V単電源給電、デジタル、アナログ入出力。

•製品サポートRS 485、DeviceNet通信方式。

•マルチガスマルチレンジ機能、自動ゼロ復帰機能、アラーム機能、ソフト起動機能、遅延機能、強力なフリークライアント使用ソフトウェアを備えている。

技術パラメータ

CS200
モデル	CS200-A		CS200-C		CS200-D
バルブタイプ	常開（流量規格≦30 SLM）または常閉	なし	常開または常閉	なし	常開または常閉	なし
流量仕様（N 2）	(0～5,10,20,30,50,100,200,300,500) SCCM (0～1,2,3,5,10,20,30,50) SLM		(0～2,3,5,10,20,30,50,100,200,300,500) SCCM (0～1,2,3,5,10,20,30) SLM
せいど	±1.0% S.P. (≥35% F.S.) ±0.35% F.S.(＜35% F.S.)
線形	±0.5% F.S.
くりかえしせいど	±0.2% F.S.
レスポンス時間	≤ 1sec		≤ 0.8sec
作動差圧範囲	0.05～0.35 MPa流量規格≦10 SLM 0.1～0.35 MPa 10＜流量仕様≦30 SLM 0.2～0.45 MPa 30＜流量仕様≦50 SLM	＜0.02 MPa	0.05～0.35MPa 流量仕様≦10 SLM 0.1～0.35MPa 流量仕様＞10 SLM	＜0.02 MPa	0.05～0.35MPa 流量仕様≦10 SLM 0.1～0.35MPa 流量仕様＞10 SLM	＜0.02 MPa
さいだいどうさあつりょく	0.45MPa
おんどけいすう	ゼロ：≦±0.05% F.S./℃；調整時：≤±0.1%F.S./℃流量仕様≦30 SLM 調整時：≤±0.2%F.S./℃流量仕様＞30 SLM		ゼロ：≦±0.02% F.S./℃；調整時：≤±0.05% F.S./℃
たいあつりょく	3MPa
ろうえいりつ	1×10^-10Pa·m³/ sec He		1×10^-11Pa·m³/ sec He
シール材	ふっ素ゴム		メタルシール
動作環境温度	（5～45）℃		（0～50）℃
にゅうりょくしんごう	数値:RS 485またはDeviceNetまたはProfiBus シミュレーション：（0～5）VDCまたは（4～20）mAまたは（0～20）mA	なし	数値:RS485 またはDeviceNet またはProfiBus シミュレーション：(0～5)VDC または（4～20）mA または（0～20）mA	なし	数値:RS485 またはDeviceNet またはProfiBus シミュレーション：(0～5)VDC または（4～20）mA または（0～20）mA	なし
しゅつりょくしんごう	数字：RS 485またはDeviceNetまたはProfiBus シミュレーション：（0～5）VDCまたは（4～20）mAまたは（0～20）mA
ゼロフロー	ゼロ補正がない場合＜0.6%F.S.／年
電源装置	±8～±16 VDC（双極）または+14～+28 VDC（単極）
ひょうめんかがくせいぶん	じょうたい		Cr/Fe比率≧2.0、CrO厚さ≧20（Å）		じょうたい
ひょうめんあらさ	25 Ra		10 Ra		25 Ra
標準ジョイント形式	ダブルブッシュφ6、ダブルパスケース1/4´;ダブルパスケース3/8´;VCR 1/4´陽継手、ダブルスリーブφ3、ダブルパスケース1/8´;VCO 1/4”、φ6（内）x 1ホース継手、φ5（内）x 1.5ホース継手 φ4（内）x 1ホース継手ダブルスリーブφ10 mmA型シールジョイント、		ダブルスリーブφ3、ダブルブッシュφ6、ダブルジャケット1/4、VCR 1/4雄継手、 1.5´C型シールジョイント、1.5´W型シール継手
電源コネクタ形式	D型9ピン雄継手、D型15ピン雄継手、DeviceNetコネクタ、ProfiBusコネクタ、アナログジョイント
じゅうりょう	1 Kg	0.8Kg	1.2Kg	1Kg	1.2Kg	1Kg

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