CS 100マスフローコントローラ&流量計-グローバルベンダー

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北京市経済技術開発区文昌大道8号（郵便番号：100176）

CS 100マスフローコントローラ&流量計

CS 100製品は七星流量計CSシリーズ製品技術プラットフォームに基づいて開発され、定電力センサ技術、デジタルセンサ平衡技術、VCP線制御技術を持つ上で、顧客のカスタマイズ設計を採用し、顧客は必要に応じて自分のニーズに合った製品を選択することができ、同時にその独創的な顧客ゼロ点補完機能（CGC）は、

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製品の詳細

利点

•CS 100製品は顧客のカスタマイズ設計を採用し、
•お客様は必要に応じて±15 Vデュアル電源または+24シングル電源を選択して電力を供給することができます。
・金属シール又はゴムシール、
•製品サイズは、国際的に通用するSEMI規格に準拠した製品を選択することができ、緊縮型の製品を選択することもできる。

技術パラメータ

CS100

モデル

CS100A

CS100D

バルブタイプ

常閉

なし

常閉

なし

流量仕様（N 2）

(0～10,20,30,50,100,200,300,500) SCCM
(0～1,2,3,5,10,20,30,50) SLM

(0～10,20,30,50,100,200,300,500) SCCM
(0～1,2,3,5,10,20,30) SLM

せいど

±1.0% S.P. (≥35% F.S.)； ±0.35% F.S.(＜35% F.S.)

線形

±0.5% F.S.

くりかえしせいど

±0.2% F.S.

レスポンス時間

≤ 1sec

作動差圧範囲

0.05～0.35MPa；流量仕様≦10 SLM
0.1～0.35MPa ；10＜流量仕様≦30 SLM
0.25～0.45MPa ；30＜流量仕様≦50 SLM

＜0.02 MPa

0.05～0.35MPa；流量仕様≦10 SLM
0.1～0.35MPa；10＜流量仕様≦30 SLM

＜0.02 MPa

おんどけいすう

零点：≤±0.05%F.S/℃、調整時：≤±0.1%F.S/℃

たいあつ

3MPa

10MPa

3MPa

10MPa

ろうえいりつ

1×10^-9Pa·m³/ sec He（1×10^-8atm·cc / sec He）

シール材

ふっ素ゴム

メタルシール

さいだいさぎょうあつりょく

0.45MPa

動作環境温度

（5～45）℃

にゅうりょくしんごう

シミュレーション：
(0～5)VDC

数字：RS 485

なし

シミュレーション：
(0～5)VDC

数字：RS 485

なし

しゅつりょくしんごう

シミュレーション：
(0～5)VDC

数字：RS 485

シミュレーション：（0～5）VDC

数字：RS 485

シミュレーション：
(0～5)VDC

数字：RS 485

シミュレーション：
(0～5)VDC

数字：RS 485

電源コネクタ形式

D型9ピン
雄継手

D型15ピン
雄継手

D型9ピン
雄継手

O型3ピン
雄継手

D型15ピン
雄継手

D型9ピン
雄継手

D型15ピン
雄継手

D型9ピン雄継手、

O型3ピン雄継手

D型15ピン雄継手

D型9ピン
雄継手

D型15ピン
雄継手

D型9ピン
雄継手

O型3ピン
雄継手

D型15ピン
雄継手

D型9ピン
雄継手

D型15ピン
雄継手

D型9ピン雄継手、

O型3ピン雄継手

D型15ピン雄継手

電力供給電源

±15V

+24V

±15V

+24V

±15V

+24V

±15V

+24V

オートクリア

サポート

ひょうめんあらさ

25μinch Ra

標準ジョイント形式

ダブルブッシュφ6、ダブルスリーブφ3、ダブルパスケース1/4´;ダブルパスケース1/8´;

VCR 1/4´陽継手、

φ6（内）x 1ホース継手φ5（内）x 1.5ホース継手φ4（内）x 1ホース継手

VCR 1/4″雄継手

じゅうりょう

1.2Kg

1Kg

1.2Kg

1Kg

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