低温真空プローブ台
製品の概要:
真空環境下での高低温試験(4.2K~500K)、荷重磁場をアップグレードでき、低温放射防止スクリーンの設計、サンプル台は高純度無酸素銅を用いて製作し、温度均一性はより良く、温度センサーは良好な安定性と繰り返し性を持つPT100あるいは定格されたシリコンダイオードを測温装置として、光ファイバスペクトル特性試験を支持し、高倍率金相顕微鏡に適合し、微調整可能な移動、デバイスの高周波特性(サポート*高67GHzしゅうはすう)、プローブヒートシンク設計、LD/LED/PDの強度/波長試験、自動流量制御、材料/デバイスのIV/CV特性試験など。
真空環境下での高低温試験(4.2K~500K)、荷重磁場をアップグレードでき、低温放射防止スクリーンの設計、サンプル台は高純度無酸素銅を用いて製作し、温度均一性はより良く、温度センサーは良好な安定性と繰り返し性を持つPT100あるいは定格されたシリコンダイオードを測温装置として、光ファイバスペクトル特性試験を支持し、高倍率金相顕微鏡に適合し、微調整可能な移動、デバイスの高周波特性(サポート*高67GHzしゅうはすう)、プローブヒートシンク設計、LD/LED/PDの強度/波長試験、自動流量制御、材料/デバイスのIV/CV特性試験など。
真空環境下での高低温試験(4.2K~500K)、荷重磁場をアップグレードでき、低温放射防止スクリーンの設計、サンプル台は高純度無酸素銅を用いて製作し、温度均一性はより良く、温度センサーは良好な安定性と繰り返し性を持つPT100あるいは定格されたシリコンダイオードを測温装置として、光ファイバスペクトル特性試験を支持し、高倍率金相顕微鏡に適合し、微調整可能な移動、デバイスの高周波特性(サポート*高67GHzしゅうはすう)、プローブヒートシンク設計、LD/LED/PDの強度/波長試験、自動流量制御、材料/デバイスのIV/CV特性試験など。
適用範囲:
高低温真空環境下のチップ試験、材料試験、ホール試験、電磁輸送特性など。
オプションの添付ファイル:
þ防振テーブル
þただんあっしゅくれいとうき
þメカニカルポンプ/分子ポンプユニット/イオンポンプ
þむせんしゅうはそし
þ各タイプの周波数真空継手
þ各種DCプローブ、高周波プローブ、アクティブプローブ、ケーブルケーブルなど…
þ各種プローブ治具
þ Chuckうんどうそうち
þ電磁石システム/超伝導磁石システム
þ 1Mpaせいあつシステム
þ超高温アップグレードオプション
þ超高真空アップグレードオプション
高低温真空プローブ台技術指標:
モデル
T81-50プローブ台
T80-50プローブ台
れいとうほうしき
えきたいヘリウム/えきたいちっそれいとう
クローズドサイクル冷凍機
キャビティマテリアル
無磁性ステンレス鋼又はアルミニウム合金
しんくうど
プレミアムガンダム真空10-8Pa
真空チャンバ観察窓寸法
2inch(オプション)
温度制御範囲
4.2K-450K
5K-450K
温度制御解像度
0.001K温度制御装置関連
おんどあんていせい
0.1K温度制御装置関連
かねつじかん
40min
150min内部、視冷凍機の電力定
温度センサ
シリコンダイオード、PT100(3個、試料台とプローブアームと放射線防止スクリーンに1つずつ)
かねつでんげん
LVDCていあつちょくりゅう
サンプルテーブル材質
きんめっき無酸素銅
サンプルテーブルサイズ
ちょつけい20-50mm、オプション100mm
サンプルテーブル平坦度
≤7μm
サンプルテーブル固定方式
固定サンプルテーブル(アップグレード可変位テーブル移動)
サンプルテーブル振動レベル
≤50ナノメートル
≤1μm(3段ダンピング)
プローブアーム数
2個、4個、6個、8オプション
プローブアームの機械的精度
±12.5mm(アップグレード可能±25mm),せいど1μm(オプション)
プローブの種類
タングステン、ベリリウム銅、マイクロ波プローブ(オプション:ガンダム67GHzのGSGプローブ)
プローブ調整
真空ベローズ外部調整、手動制御
拡大倍率
16~100X/20~4000X
顕微鏡ストローク
X、Y平面2*2inch、精度1μm,Z軸ストローク≧50.8mm
電力需要
220V 50-60Hz